Occasion ASM MIR 3000 #9259684 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9259684
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
CVD Furnace, 12"
Dual chambers
EFEM
XP Platform
2011 vintage.
ASM MIR 3000 est un four de diffusion sous vide à haute température et un équipement d'imagerie conçu pour les processus de recherche et de production. Il est utilisé pour un large éventail d'applications telles que le traitement de circuits intégrés Si et les dispositifs emballés, l'oxydation à haute température, le dépôt, le recuit thermique, l'activation dopante, et plus encore. MIR 3000 est un système robuste et automatisé adapté aux applications industrielles et de laboratoire, avec une interface graphique facile à utiliser. L'ASM MIR 3000 dispose d'une double wafer avec un environnement d'exécution polyvalent, permettant aux utilisateurs de charger des recettes de processus distinctes et de les exécuter indépendamment avec un contrôle précis de la température et un contrôle sur les segments de refroidissement forcé. Il dispose de thermopiles et de tubes à paroi froide supplémentaires pour contrôler l'homogénéité de la température de la zone chaude, qui peut aller jusqu'à 1650ºC. Les débits de gaz peuvent être ajustés avec précision pour une homogénéité optimale et le positionnement variable du couvercle de la zone chaude permet un contrôle précis de la pression pour divers procédés. MIR 3000 dispose également d'une unité d'imagerie haute résolution avec cassette E-beam et wafer embarqués, de détecteurs de particules multiples, d'un étage de wafer intégré et d'une orientation en fréquence des wafers. Il est également équipé d'une gamme complète de capacités d'automatisation, y compris la commande de plaquettes à la demande, la surveillance et le contrôle des processus en temps réel, la création de recettes, et plus encore. ASM MIR 3000 est conçu pour faciliter la maintenance et l'entretien. Il a une conception modulaire pour un remplacement facile des pièces et sa machine de refroidissement efficace réduit les temps d'arrêt dus aux fluctuations de température. MIR 3000 dispose également de nombreuses caractéristiques de sécurité telles que l'activation dopante de zone chaude contrôlée par l'opérateur et le contrôle automatisé de la pression et de la température. Pour assurer une continuité et une répétabilité maximales du processus, l'ASM MIR 3000 est continuellement surveillé et ajusté afin d'éviter l'accumulation de résidus excédentaires ou excédentaires. Son outil intégré d'entrelacement sous vide assure un fonctionnement sans danger et ses systèmes de surveillance avertissent de tout dysfonctionnement inaperçu du processus. Dans l'ensemble, MIR 3000 est un atout polyvalent et puissant pour une variété d'applications de production et de recherche. Il est conçu pour fournir des performances fiables, avec des processus hautement automatisés et un contrôle précis de la température, de la pression et du débit. Les différents composants du modèle sont conviviaux et faciles à intégrer avec d'autres composants dans un environnement de production, permettant aux utilisateurs d'atteindre une uniformité de processus avec des rendements maximaux.
Il n'y a pas encore de critiques