Occasion ASM MIR 3000 #9358637 à vendre en France

ASM MIR 3000 est un four de diffusion et accessoires associés conçu par ASM International pour être utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Le système se compose d'un four et d'un contrôleur à chambre unique, d'un mélangeur à gaz, de vannes, de raccords à gaz, de collecteurs et de tuyauteries, de thermocouples et de régulateurs de température. La chambre principale de MIR 3000 est un cylindre vertical en acier inoxydable et équipé d'un suscepteur en graphite. Le suscepteur est conçu pour maintenir la plaquette pendant le traitement et répartit la chaleur uniformément sur la surface. L'intérieur de la chambre du four est également revêtu de couverture en graphite pour assurer l'isolation thermique. Les éléments chauffants sont situés sous le suscepteur et contrôlent la température de la chambre via PLC (Programmable Logic Controller). Les éléments chauffants produisent une température uniforme à l'intérieur de la chambre du four. Les mélanges de gaz sont livrés à la chambre par l'intermédiaire du mélangeur à gaz, des vannes, des raccords à gaz, du collecteur et de la tuyauterie. Le débit de gaz est réglé par un régulateur de débit massique, qui permet un contrôle précis de la composition du gaz. Le mélange gazeux est introduit dans la chambre par plusieurs entrées de gaz, qui sont reliées au collecteur et à la tuyauterie. La température est surveillée et contrôlée à l'aide de thermocouples et d'un régulateur de température. Les thermocouples sont introduits dans la chambre et détectent les niveaux de température dans toute la chambre. Le régulateur de température est utilisé pour régler et ajuster la plage de température de la chambre. L'ASM MIR 3000 est adapté à un large éventail de processus de diffusion, y compris les oxydations thermiques, le nitrurage, le dépôt d'oxyde et le dopage des conducteurs. Le système fournit un contrôle précis de la température, un profil de température uniforme dans toute la chambre et un mélange précis des gaz pour des conditions de diffusion idéales. Le système est facile à programmer, extrêmement sûr et fiable, et peut être utilisé pour un large éventail d'applications.