Occasion ASM MIR 3000 #9358639 à vendre en France

Le four de diffusion ASM MIR 3000 est un outil polyvalent pour l'industrie des semi-conducteurs, permettant la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité comprenant des structures tridimensionnelles complexes. Le four est capable de passiver, d'implanter et de diffuser des procédés, ainsi que de fournir une plate-forme idéale pour le recuit à basse température et l'oxydation thermique. MIR 3000 est conçu pour une utilisation avec de multiples emplacements et substrats, ce qui le rend idéal pour des applications dans la production à grande échelle ainsi que la recherche et le développement. Le coeur du four est composé d'un élément résistif électrique qui est chauffé par une combinaison de deux alimentations, permettant un contrôle précis des températures jusqu'à 1350 ° C Le creuset intérieur est fabriqué à partir de graphite pour assurer une répartition uniforme de la chaleur au sein du four, et la résistance à l'oxydation du four est obtenue avec une isolation dense et étanche à l'air. Le mécanisme de levage et les mécanismes d'expansion offrent une fiabilité supérieure et une durabilité à long terme. ASM MIR 3000 dispose d'un ensemble unique d'accessoires, qui rendent le processus de diffusion plus facile, plus rapide et plus fiable. Le lot de diffusion et les injecteurs dopants uniques permettent un contrôle précis du processus de dépôt, tandis que les contrôleurs de vitesse de refroidissement et de chauffage, caractérisés par une précision de 0,1 ° C, sont utilisés pour moduler la température du processus de diffusion. Le pilote de machine programmable unique garantit une application cohérente des paramètres définis par l'utilisateur, facilitant ainsi la traçabilité complète du processus de diffusion. MIR 3000 comprend également des unités de modulation multi-zones (MZM), qui offrent une précision et une sécurité accrues en assurant un contrôle complet des profils de température. Le MZM sophistiqué est également capable de traiter des milliers de plaquettes en parallèle à une vitesse maximale de 900 plaquettes par heure, parfait pour les applications de production à grande vitesse. Le four de diffusion est également livré avec une large gamme de logiciels et de services d'assistance, qui permettent aux utilisateurs de surveiller, d'ajuster et de vérifier les paramètres du processus avec facilité. Le logiciel d'exploitation permet aux utilisateurs d'ajuster et de surveiller les paramètres du four de manière intuitive et graphique, tandis que le système de support donne aux utilisateurs accès à des conseils techniques concernant le fonctionnement et la sécurité. En outre, une foule d'outils d'autodiagnostic, avec la capacité de détecter et d'alerter sur les problèmes potentiels avant qu'ils ne deviennent importants. Dans l'ensemble, le four de diffusion ASM MIR 3000 et sa gamme d'accessoires fournissent aux fabricants un outil efficace, fiable et flexible pour produire des dispositifs semi-conducteurs complexes. Le contrôle précis de la température et les paramètres définis par l'utilisateur donnent à MIR 3000 la capacité de traiter des millions de plaquettes par heure avec une précision et une répétabilité parfaites, ce qui le rend parfait pour la production à grande vitesse et les applications complexes de recherche et de développement.