Occasion ASM UHV-A600 #9144030 à vendre en France

ASM UHV-A600
ID: 9144030
Taille de la plaquette: 8"
Thermal HSG systems, 8".
Le four de diffusion ASM UHV-A600 est conçu pour des applications de gaz inertes sous vide ultra-haute puissance. Ce four est un outil performant, polyvalent et fiable pour développer des matériaux avancés avec d'excellentes capacités de gravure et une préparation de surface précise. Ce four de diffusion est conçu avec un réchauffeur de zone chaude à bande à grande vitesse qui peut fournir des températures allant jusqu'à 1400 ° C La zone chaude est entourée par une chambre de quartz avec les vis de M63 tenant compte de l'accès commode à un environnement de post-charge prudent. Cet environnement de post-charge permet d'assurer une répartition constante et uniforme de la température dans toute la chambre et permet au four d'obtenir une excellente uniformité du profil de diffusion. La chambre à quartz permet également d'éviter la contamination de l'air extérieur. Le four est équipé d'un puissant générateur RF de 8,5 kW et d'un oscillateur de zone chaude pour assurer un chauffage uniforme de l'ensemble du corps du four. Une interface tactile intuitive guide l'opérateur à travers la mise en place et le contrôle du four. L'équipement de contrôle comprend également un système d'enregistrement des données en temps réel et la capacité d'exporter des données vers un ordinateur pour analyse. UHV-A600 four de diffusion dispose également de systèmes avancés de contrôle des gaz inertes. Le four peut être configuré pour utiliser de l'argon, de l'azote ou d'autres gaz réactifs pour un certain nombre d'applications de procédé. Il s'agit notamment de réguler les débits, la pression et le contrôle du débit du gaz chauffé pour assurer une diffusion uniforme du matériau cible. L'utilisateur peut également ajuster le profil de température du four à leurs paramètres souhaités en quelques minutes. Le four de diffusion ASM UHV-A600 dispose également d'une gamme d'accessoires pour maximiser son efficacité et sa flexibilité. Il s'agit notamment d'un collecteur de distribution de gaz, d'une pompe de recirculation, d'une vanne et d'un filtre à 5 orifices, d'une jauge d'air et d'une unité d'évent. Le collecteur de gaz assure une alimentation uniforme en gaz du four et est alimenté par un moteur puissant pour supporter des applications de forte puissance. La pompe de recirculation fait circuler du gaz à l'intérieur du four pour assurer une répartition uniforme de la température dans la zone chaude. Enfin, la machine d'évent aide à évacuer les gaz de la zone chaude et à maintenir un niveau élevé de propreté dans le four. Ce four de diffusion haut de gamme offre aux utilisateurs un niveau supérieur de performance et de fiabilité et est une solution idéale pour un large éventail d'applications. Avec ses capacités de chauffage avancées et ses systèmes de contrôle des gaz inertes, UHV-A600 four de diffusion est la solution idéale pour répondre aux exigences des procédés de fabrication avancés.
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