Occasion ASM UHV-A600 #9144820 à vendre en France

ASM UHV-A600
ID: 9144820
Taille de la plaquette: 8"
Thermal HSG system, 8".
ASM UHV-A600 est un four de diffusion et des accessoires, utilisés pour la croissance des cristaux de laboratoire. Cet équipement de pointe est conçu pour des processus de dépôt épitaxial fiables, sûrs et reproductibles tout en capturant des données exactes et répétables. UHV-A600 est un système de dépôt de couches minces dédié. Il utilise l'unité de pompage moléculaire Turbo de Varian pour atteindre la vitesse de pompage la plus élevée et la charge électrique la plus faible de l'industrie, tout en maintenant constamment un vide élevé. Cela permet d'optimiser les taux de dépôt des matières premières et d'assurer la meilleure qualité des films. L'ASM UHV-A600 est compatible avec tous les substrats de croissance couramment utilisés et les sources d'épitaxie du faisceau moléculaire et est équipé d'un réseau de cartographie 2D pour surveiller la température du substrat, permettant un contrôle précis du dépôt du film. La machine est conçue pour un débit élevé. Avec sa conception avancée, ainsi que des éléments de réponse rapide, UHV-A600 permet une production plus rapide d'échantillons de couches minces pour l'analyse de diffraction des rayons X grand angle. L'outil est équipé d'une interface de conduite de gaz et de ports multiples pour assurer un environnement stable et pur, exempt d'oxydation pour le processus de dépôt sensible. L'ASM UHV-A600 comprend également une chambre de préconditionnement entièrement automatisée. Cette chambre est conçue pour éliminer les contaminants de surface avant le dépôt du film. En outre, la chambre est équipée d'un actif de purification des gaz inertes et Turbo Molecular Pumping (TMP) pour optimiser davantage l'environnement. En plus de UHV-A600, Varian fournit plusieurs éléments de chauffage et chambres d'échantillonnage pour accueillir chaque processus de dépôt. Ces éléments comprennent des lampes infrarouges (IR), des éléments chauffants résistifs et des lampes à quartz. Chacun assure un chauffage uniforme pour caractériser le dépôt de film. En outre, les systèmes UHV avancés comprennent une multizone de chauffage diffusif qui permet un environnement de croissance plus complexe. L'ASM UHV-A600 comprend également un mandrin de substrat à température contrôlée, qui peut être utilisé pour affiner la position du substrat pendant le dépôt. De plus, le mandrin est équipé d'une étape de refroidissement de l'échantillon qui permet un contrôle précis de l'épaisseur du film. UHV-A600 comprend également l'instrumentation avancée. Cela inclut l'alimentation en tension ABelec 500, qui fournit des performances stables et répétables avec de faibles spectres de bruit. Ceci assure une représentation précise du processus de dépôt et permet une capture précise des données. Pour compléter le modèle, ASM UHV-A600 comprend également un équipement de gestion du vide. Le système est conçu pour effectuer un séquençage automatisé précis des soupapes, générer des temps de cycle rapides et réduire les erreurs de manipulation. L'unité de gestion du vide comprend également une télécommande de contrôle de la conduite de la machine. Tous ensemble, UHV-A600 est un four de diffusion avancé et polyvalent pour la croissance des cristaux de laboratoire. Il est conçu pour des processus de dépôt épitaxial fiables, sûrs et reproductibles tout en capturant des données exactes et répétables. Avec sa conception fiable de l'outil, ainsi que l'instrumentation avancée, ASM UHV-A600 est l'outil parfait pour les processus de dépôt de couches minces.
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