Occasion ASYST / PST Melitas F30 #293668011 à vendre en France

ASYST/PST Melitas F30 est un équipement de fours à diffusion de pointe pour le traitement thermique des substrats. Ce système convient à une gamme de procédés avancés tels que le dépôt chimique en phase vapeur (MOCVD), le dépôt par couche atomique (ALD) et l'épitaxie. L'unité est constituée d'un four F30 capable d'effectuer un traitement thermique rapide, ainsi que d'une serrure à 7 vide pour le transport des substrats à l'entrée et à la sortie de la chambre. Le four est construit en acier inoxydable à vide et a une taille de chambre utilisable de 25 pouces par 25 pouces. Il peut accepter des substrats jusqu'à 8 pouces de diamètre et jusqu'à 0,15 pouces d'épaisseur. Le four de diffusion F30 peut traiter des substrats jusqu'à 950 ° C Il est conçu pour une homogénéité optimale de la température à travers la chambre. Ceci est réalisé avec une gamme de chauffages multi-zones et des régulateurs de température in-situ avancés, avec des capteurs de haute précision et des algorithmes de contrôle de la température. De plus, le four de diffusion F30 est également équipé d'une caméra CCD pour surveiller les substrats pendant le traitement. La caméra peut être utilisée pour obtenir des informations en temps réel sur les processus d'évaporation et de condensation, ainsi que pour vérifier la propreté et la propreté de la chambre. Les supports de substrat utilisés dans le four F30 sont construits en alliage d'aluminium à haute température et revêtus d'une isolation à haute température pour une rétention thermique maximale. Les porteurs disposent de strobes en quartz, pour améliorer les performances de purge sous vide, ainsi que d'une bobine centrale RF, pour un contrôle précis de la température du substrat. La machine est compatible avec la gamme d'accessoires PST et ASYST Melitas. Il s'agit notamment de pièges à froid pour les applications cryogéniques, de serrures pour les applications à faible vide, de plateaux d'échantillonnage en acier inoxydable, de composants d'interface en quartz et d'éléments de chauffage de remplacement. Le four de diffusion F30 est un outil fiable et économique pour le traitement thermique des substrats. Il est robuste et facile à utiliser, ce qui en fait un excellent choix pour une large gamme d'applications avancées de processus.