Occasion BLACKSTONE / NEY MACS-25-US-HIT #9399118 à vendre en France

BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT est un four de diffusion avancé à haut débit et ses accessoires pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Le four est intégré à un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (APCVD) à pression atmosphérique monobloc et à un système avancé de surveillance des matériaux qui fournit des résultats cohérents, fiables et reproductibles. NEY MACS-25-US-HIT est un four de diffusion à haute température capable d'obtenir une homogénéité de température totale et un contrôle de température serré. Il est équipé d'une unité de chargement par lots de 100 plaquettes et d'une plage de température de 25 ° C à 1250 ° C. Le contrôle dynamique du processus garantit que l'apport d'azote et d'oxygène est optimisé tout au long du processus. Avec cette machine, les programmes de diffusion peuvent être exécutés successivement de façon répétable avec un temps de refroidissement minimal, réduisant ainsi le temps de cycle total. Le four est également intégré à un outil de livraison APCVD. Cet actif permet un contrôle variable de la réactivité chimique, ainsi qu'une livraison chimique simplifiée sur la surface de la plaquette. Le modèle de livraison chimique est adapté avec des têtes de pulvérisation de haute précision, assurant l'uniformité et la stabilité du processus de dépôt. De plus, les systèmes de réglage de la pression et de la vitesse contribuent à assurer la stabilité du processus de diffusion. En termes de surveillance des processus, BLACKSTONE MACS-25-US-HIT est équipé de divers moniteurs de processus tels que la température, la pression, la contrainte, la surveillance RF, et les contrôleurs de débit massique. Ces moniteurs de processus fournissent des données de fonctionnement qui sont utilisées pour ajuster la température et la pression pendant chaque cycle ou entre plusieurs cycles. En conséquence, la stabilité et la répétabilité des processus sont améliorées. Enfin, MACS-25-US-HIT est également équipé d'un ensemble complet de dispositifs de sécurité. Les volets actionnés par pression sont conçus pour isoler le four pendant les périodes d'entretien et de remontée, tandis que les relais sensibles au courant réduisent le risque de choc électrique. En outre, les alarmes à haute température, les équipements de sécurité incendie et les interrupteurs basse pression sont tous inclus comme un moyen de protéger les utilisateurs et l'environnement. BLACKSTONE/NEY MACS-25-US-HIT fournit donc une solution de contrôle de processus fiable, hautement efficace et sûre pour les applications de fabrication de semi-conducteurs nécessitant un traitement de diffusion. La combinaison d'une homogénéité de température élevée et d'un contrôle de température serré, de systèmes de surveillance avancés et de dispositifs de sécurité en font un choix idéal pour obtenir des résultats précis et reproductibles de manière rentable.