Occasion CENTROTHERM Centronic E1200 HT 260-1 #9163724 à vendre en France
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ID: 9163724
Style Vintage: 1998
Furnace
Power input: 15 kW
Current imax: 37 A
Power supply: 230 / 400 V, 3 Phase
1998 vintage.
CENTROTHERM Centronic E1200 HT 260-1 est un four de diffusion de classe mondiale et des accessoires spécialement conçus pour automatiser et optimiser les processus de production pour les applications de semi-conducteurs. Le E1200 HT 260-1 offre une puissante chambre de traitement thermique à fluxation gazeuse multi-zones avec un contrôle précis de la température et du processus, permettant la mobilité du substrat et la flexibilité de la zone tout en réduisant la consommation d'azote par rapport aux fours de diffusion classiques. Grâce à la surveillance et au contrôle intégrés de la température et des concentrations de composés, cet équipement améliore considérablement l'uniformité et l'efficacité sur les substrats de plaquettes de toutes tailles. La conception avancée du four de diffusion E1200 HT 260-1 permet une variété de fonctions de processus et de flexibilité pour des tailles de substrat variées. Le panneau de protection en verre contient un grand système de contrôle d'écran tactile facile à utiliser avec un logiciel graphique qui donne à l'utilisateur la possibilité de programmer une variété de fonctions, y compris la sélection de zones individuelles, le contrôle de la température et les paramètres de vitesse de dépôt. Le panneau de gaz est équipé d'un régulateur de débit pour ajuster précisément le débit d'azote ou d'argon pendant le processus de diffusion. Le E1200 HT 260-1 dispose d'une chambre en acier inoxydable robuste avec une unité d'isolation améliorée pour le plus haut niveau d'uniformité de température et d'efficacité. La technologie unique de distribution thermique du gaz (GFT) offre une grande uniformité sur tout le substrat avec une excellente stabilité de température. De plus, la chambre intègre des capacités de gravure avancées pour des substrats en silicium. Des thermocouples à capteur à l'intérieur de la chambre sont utilisés pour surveiller et contrôler l'état de la température dans chaque zone. Le E1200 HT 260-1 est une machine conviviale qui permet de stocker, de rappeler et de réviser les recettes directement depuis le poste de contrôle principal. L'outil a la capacité de réseauter avec des systèmes PC et CAM pour la sélection automatisée des recettes et la surveillance des plaquettes pendant le traitement. De plus, les sous-systèmes interchangeables permettent de commuter facilement les processus de diffusion et de gravure en une seule unité compacte. Centronic E1200 HT 260-1 est un four de diffusion idéal qui répond aux exigences les plus strictes du dispositif semi-conducteur. Avec la combinaison du contrôleur sophistiqué, la conception fiable de la chambre, et les fonctionnalités avancées du processus, le E1200 HT 260-1 offre une suite de processus thermiques très efficace pour répondre aux exigences d'application les plus difficiles.
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