Occasion CENTROTHERM E 240 / Euro 2000 #104065 à vendre en France
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ID: 104065
Taille de la plaquette: 4"
Style Vintage: 1988
Horizontal diffusion furnace, 4"
Specifications:
Wafer size: 4"
Can be converted to 6" with cantelever loading system, software adjustable
Power: 384kW
ID tubes: 155 to 160 mm
C, D, E, R stacks (16 FUR.)
Temperature range: 400°C to 1200°C
CENTROTHERM controller
Gas cabinet with MFCs, exhaust facility
Soft-landing system for loading and unloading wafer under laminar
Process configuration: (4) stacks x (4) tubes
E stack:
E1: sinter/anneal
Gases: H2 / N2
MFC capacity: 10slm N2, 2slm H2
E2: sinter/anneal
Gases: H2 / N2
MFC capacity: 10slm N2, 2slm H2
E3: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 55slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source)
E4: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 10slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source)
F stack:
F1: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source)
F2: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 500sccm N2 (source)
F3: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source)
F4: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source)
C stack:
C1: N-type doping using POCl3
Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 1000sccm O2, 999sccm N2 (source)
C2: N-type doping using POCl3
Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 500sccm O2, 999sccm N2 (source)
C3: N-type doping using POCl3
Gases: N2 / O2 / POCl3 (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 999sccm O2, 999sccm N2 (source)
C4: Al alloy
Gases: O2 / N2
MFC capacity: 999slm N2, 5slm O2, 2slm H2, 500sccm N2 (source)
D stack:
D1: Pyro oxidation with TCA
Gases: H2 / N2 / O2 / TCA (source N2)
MFC capacity: 10slm N2, 5slm O2, 10slm H2, 999sccm N2 (source)
D2: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter
Gases: N2 / O2
MFC capacity: 10slm N2, 999sccm O2
D3: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter
Gases: N2 / O2
MFC capacity: 10slm N2, 1slm O2
D4: Doping with spin-on dopant / anneal / sinter
Gases: N2 / O2
MFC capacity: 10slm N2, 1000sccm O2
Old furnace:
#22: Thick Al alloy
Gases: O2 / N2
Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2
#23: N-type doping using POCL3
Gases: O2 / N2 / N2(S)
Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2, 150CD N2 (source)
#24: Gold drive
Gases: O2 / N2
Rotameter capacity: 150CD N2, 150CD O2
Spares inventory:
Furnace:
STC / TCU interconnecting cable
(Qty 5) THERMOWELL oil units
(Qty 2) CU406 SCPB 40 DGT display boards
(Qty 2) Magnetic coupling
EXT grade wire: OMEGA RS-20-100
Thermocouple extension wire, 250'
(Qty 67) Thermocouple connectors: Omega GMP-R/S M
(Qty 80) Thermocouple connectors: Omega GMP-R/S F
(Qty 17) Grounded mini connectors: RS M
(Qty 29) Grounded mini connectors: RS F
(Qty 3) Custom heavy gauge diffusion cartridges: AD-1419
Cartridge
2-pole gold plated contact: SW142G-10-B
2-pole gold plated contact: SW142G-10-M
Set switch gold plated contact: OSWG3-10
TOL-O-MATIC cable cylinder (Aluminum tube): CC 10 SK 70
(Qty 3) Thermocouple panel meters, 230V: Omega DP 41 - TC 230
Thermocouple and fine wire welder: TL-WELD 230VAC
(Qty 4) Reference junction thermostats, VT60: 1018
Paddle belt, 12m
MFCs:
(Qty 4) MFC: COASTAL H2: 10 SLM UFC-1100A
MFC: COASTAL O2: 500 SCCM UFC-1100A
MFC: COASTAL O2: 1 SLM UFC-1100A
(Qty 2) MFC: COASTAL O2: 5 SLM UFC-1100A
(Qty 2) MFC: COASTAL N2: 10 SLM UFC-1100N
(Qty 2) MFC: COASTAL N2: 999 SCCM UFC-1100A
MFC: COASTAL SiH4: 500 SCCM FC-260
MFC: COASTAL NH3: 3 SLM FC-260
(Qty 3) MFC: MYKROLIS O2: 500 SCCM FC-2900V
MFC: MYKROLIS O2: 1000 SCCM FC-2900V
MFC: MYKROLIS N2: 1000 SCCM FC-2900V
(Qty 2) MFC: MYKROLIS H2: 10 SLM FC-2900V
(Qty 2) Cards Lag 03: p/n 001112
Display card: p/n 001022
Card: p/n 001824
Locals:
Teflon coated wire, 2-core: 20m
(Qty 3) FESTO cylinders: p/n DGS-25-50-PPV-A
(Qty 3) FESTO cylinders: 10 bar
(Qty 15) FESTO sensors
(Qty 4) Solenoids
(Qty 6) Batteries, 3.3V
(Qty 400) Miscellaneous ICS: EEPROMS, Digital ICS, reg and microprocessor
Quartzware:
(Qty 7) Tubes, 2,150 mm (161 mm dia) TESLA: DQ4-39
(Qty 6) Tubes, 2,150 mm (155 mm dia) TESLA: DQ4-09
THERMCO tube, 1,840 mm: DQ4-15
(Qty 10) TESLA cross slotted boats: DQ4-20
THERMCO cross slotted boat: DQ4: 01
(Qty 6) Hydrox quartz balloons: DQ4-05
Thermocouple sheath, outer: DQ4-11
(Qty 2) White elephants: DQ4-17
(Qty 3) Inverted boats: 92 slots: DQ4-34B
(Qty 31) Inverted boats: 84 slots: DQ4-34A
(Qty 2) Boat holders: DQ4-18
(Qty 12) Injectors: DQ4-04
(Qty 2) Adaptors: DQ4-08
(Qty 3) Baffles: DQ4-12
(Qty 4) Paddles: DQ4-03
(Qty 3) End caps: DQ4-16
(Qty 10) Discs: DQ4-37
(Qty 3) Push rods: DQ4-09
(Qty 2) Plugs: DQ4-26
(Qty 5) Thermocouple sheaths, inner: DQ4-41
(Qty 3) Quartz ladders: DQ4-32
Thermocouple, p/n 101 4T-720-R-020
Facility requirements:
Electrical: 440VAC, 3-phase, 50/60Hz, 24kW maximum for single furnace
Cold water: 60 PSI, 15°C to 20°C
Air: 40 PSI
O2, H2, N2: 40 PSI
Exhaust
1988 vintage.
Le four de diffusion CENTROTHERM E 240/Euro 2000 offre le plus haut niveau de performance avec sa construction innovante et son fonctionnement polyvalent et fiable. Ce four de diffusion moderne combine la robustesse et la puissance d'un élément chauffant de 100 watts avec la sensibilité d'un capteur de température à contrôler la température. Ses fonctionnalités avancées comprennent un contrôle tactile facile à utiliser, un affichage numérique pour la lecture des valeurs de température en temps réel et un logiciel convivial pour exécuter les routines quotidiennes, telles que la génération de rapports de processus, le contrôle de plusieurs appareils et la configuration des zones séparément. Le four de diffusion E 240/Euro 2000 utilise des cascades à double paroi et des zones chaudes mobiles pour un transfert de chaleur optimal et une stabilité de la température. La répartition uniforme de la chaleur ainsi obtenue peut être ajustée de diverses manières, avec une gamme d'éléments de flux variables et des configurations de points chauds. Il dispose également d'un système de refroidissement efficace pour le contrôle de la température, d'une technologie de vide avancée pour le contrôle final de l'environnement et d'une isolation de haute qualité pour maximiser l'efficacité énergétique. Le four est équipé d'une conversion triphasée de puissance, d'un pilote réglable et d'un interrupteur de sécurité intégré. Il dispose d'une uniformité réglable, de points chauds réglables rapidement, et d'un trajet d'écoulement réglable du gaz porteur. Avec une fenêtre dynamique réglable, CENTROTHERM E 240/Euro 2000 offre un contrôle serré du processus de dépôt. Sa plate-forme intégrée de contrôle de mouvement et de verrouillage de charge permet à l'utilisateur de programmer et de stocker jusqu'à 32 programmes de jusqu'à 600 étapes chacun. E 240/Euro 2000 propose une gamme complète d'accessoires, tels qu'une chambre de prétraitement d'échantillons, des alimentateurs automatiques programmables de petites pièces, des plateaux de reconditionnement et de reconditionnement, et une gamme d'outils conçus sur mesure. Ces accessoires permettent aux utilisateurs d'adapter pleinement leurs systèmes de four à leurs besoins spécifiques, ce qui permet une parfaite adéquation entre la conception et la construction de la chambre de process et sa fonction attendue. Enfin, le four de diffusion CENTROTHERM E 240/Euro 2000 est conçu pour une disponibilité et une fiabilité maximales, permettant aux utilisateurs de rester confiants dans les performances de leur four. Sa construction robuste et son revêtement renforcé aident à protéger les pièces de travail sensibles, et sa construction à faible entretien contribue à réduire les temps d'arrêt, augmentant ainsi la productivité et la rentabilité.
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