Occasion CENTROTHERM E 240 #293622222 à vendre en France
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CENTROTHERM E 240 est un four de diffusion et un emballage accessoire conçu spécifiquement pour les applications de fabrication de semi-conducteurs de taille moyenne. Il assure un traitement rapide et économique des plaquettes avec une excellente uniformité et un contrôle des particules. E 240 est constitué d'une chambre de four horizontale à température contrôlée, orientée vers le vert, montée sur une base rigide en acier inoxydable. La chambre présente des parois et une porte en alliages thermiquement isolés. Un élément chauffant annulaire en SiC est moulé dans les parois latérales, tandis qu'une ligne de base réfractaire assure une grande homogénéité thermique. L'ensemble de la chambre est scellé sous vide, garantissant un environnement exempt de particules. La porte du four est reliée électroniquement à l'équipement de commande, assurant la sécurité maximale pendant le fonctionnement et offrant une large gamme de fonctions de commande. Le système dispose également d'un dispositif électronique d'autoprotection pour se prémunir contre les fuites thermiques, les dépassements de processus et les surcharges. La faible masse thermique des parois de la chambre permet des taux de rampe rapides et efficaces, permettant des temps de traitement jusqu'à 3 minutes pour certaines applications. Un contrôle précis de la température permet un traitement uniforme et répétable, avec une uniformité de température +/-1degC au niveau de la plaquette. Une nouvelle unité de purge à haut rendement fournit des temps de cycle thermique rapides et des niveaux d'oxygène uniformément bas. Des délais de traitement remarquablement bas et un faible coût de propriété justifient en outre l'achat de CENTROTHERM E 240. La machine de commande avancée E 240 offre une gamme de modes de commande sophistiqués, y compris plusieurs étapes de programme, des opérations individuelles et collectives, un chauffage et un refroidissement régionalisés avec des temps de séjour définis par l'utilisateur à chaque étape. L'interface utilisateur claire et intuitive simplifie encore le fonctionnement et fournit la tranquillité d'esprit qui vient avec savoir que l'outil fait exactement ce qu'il dit. En outre, CENTROTHERM E 240 est livré avec une gamme complète d'accessoires, tels que porte-plaquettes programmables, bateaux à quartz et plaques de plaquettes, capteurs de température, robinets de pression et soupapes d'échappement. Tous ces composants garantissent et maintiennent le plus haut niveau de performance globale. E 240 est le choix idéal pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs de taille moyenne et de volume élevé. Il offre des temps de cycle rapides, un contrôle de température supérieur et un excellent contrôle des particules, le tout avec une facilité de fonctionnement et un faible coût de propriété qui rend la propriété attrayante dans n'importe quel environnement de production.
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