Occasion CENTROTHERM E1550 HT 260-4 #9260101 à vendre en France
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ID: 9260101
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2016
Horizontal furnace, 6"
(4) Stacks
(4) Tubes configuration:
LPCVD LTO-PSG
LPCVD HTO
POCl3 Diffusion
Wet oxidation
Heating element: 100-600°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
Heating element: 400°C-1050°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
(2) Heating elements: 600-1300°C
Flat length: 600 mm
Diameter: 260 mm
(5) Heating zones
Furnace cooling system: Integrated gas system for DCS: HTO / TEOS process
(3) Standard cooling systems:
Tube closed cycle water cooling system
CENTROTHERM Machine Interface (CMI)
Graphical user interface
(4) Furnace control systems (Field bus: CAN)
(4) Temperature measurements
(4) REG 97 Temperature controllers
Fuzzy enhanced PID control
(4) Cascade temperature controls
(4) Profiling elements
For (5) zone heating elements: Type R
Security system CMS
Independent for up to (4) tubes
Automatic pressure tightness system for closed tube systems
Scavenger
(2) Tube closures
Closed tube for soft landing system
Vacuum door for soft landing system
(4) Tube loading systems:
For soft landing process boat
Gas system cabinet GVS
With main gas lines for N2, O2, H2, SiH4, SiH2Cl2, PH3, N2O
Gas / Vacuum system: LPCVD: LTO-PSG
Gas lines: N2, SiH4 (Rear), PH3 (10% in Ar) (Front, rear), O2 (Front, rear) without vacuum pump
Gas / Vacuum system: LPCVD: HTO
Gas lines: N2, SiH2Cl2 (front, rear), N2O (front, rear), without vacuum pump
Gas system: POCL3 Diffusion
Gas lines: N2, N2 (POCl3), O2, O2 (High)
Gas system: Wet oxidation (Hydrox - ext. torch, DCE – TransLC)
Gas lines: N2, O2, H2, N2O, N2 (DCE), O2 (DCE)
Laminar flow system:
For vertical flow
Process boat lift
Without storage and controlling computer, 6"
Process boat storage
Storage positions plus one manual loading storage, 6"
Loading port
Process boat transfer system
Flat aligner
Power supply: UPS10
No auxiliary equipment
2016 vintage.
Le four de diffusion CENTROTHERM E1550 HT 260-4 est un équipement de qualité professionnelle conçu pour une variété de processus de croissance de cristaux en vrac. Il est idéal pour les matériaux qui nécessitent des températures élevées pour une croissance à grande échelle, tels que l'arséniure de gallium, le silicium et les nitrures. Ce four à quatre zones peut atteindre des températures allant jusqu'à 1300 ° C, et est conçu pour l'alimentation en gaz ou le chauffage par contact direct. La partie centrale du four est composée d'un foyer rotatif à chaîne, qui abrite les quatre zones de chauffage. Chacun d'eux est commandable indépendamment pour un contrôle précis de la température sur tout le volume de matériau. Les quatre zones de chauffage peuvent être exploitées avec des éléments de chauffage au gaz ou électrique comme source d'énergie. L'équipement de distribution de gaz est constitué d'une vanne à trois voies pour contrôler le flux de gaz combustible dans chacune des zones de chauffage. De plus, CENTROTHERM E1550 dispose d'un système d'injection de gaz endothermique pour un refroidissement rapide. Le four comprend une unité d'air de recirculation à deux étages, qui est équipée de ventilateurs d'empilement séparés pour chaque zone. Les ventilateurs assurent un refroidissement massif ainsi qu'une circulation d'air chaud pour même le chauffage sur tout le volume de matière. Des dispositifs de sécurité supplémentaires tels qu'un bouton d'arrêt d'urgence en ligne, des alarmes sonores et visuelles et des thermocouples de surveillance de la flamme augmentent encore la sécurité de la machine. E1550 Four de diffusion HT 260-4 est également livré avec des connexions au gaz et électrique, ainsi que des instructions de fonctionnement détaillées. Pour une performance et une efficacité optimales, nous vous recommandons de l'associer à la suite d'accessoires de support CENTROTHERM, y compris réfractaires, tuyauteries et autres équipements auxiliaires. Ces accessoires permettent un contrôle encore plus précis des paramètres de cuisson du four, et garantissent que votre travail est de la plus haute qualité. En conclusion, le four de diffusion CENTROTHERM E1550 HT 260-4 est un choix idéal pour une grande variété de processus de croissance cristalline. Ses fonctionnalités avancées et ses systèmes de sécurité complets en font le dispositif de passage pour toute application nécessitant des températures élevées et un contrôle précis.
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