Occasion DIRE 10 #9119220 à vendre en France
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ID: 9119220
Taille de la plaquette: 5"-8”
Style Vintage: 1992
Furnace, 5"-8”
(2) Tubes of LPCVD (Flat Poly & BPSG)
(2) Tubes of Wet Ox
7680 Loaders
Direction Saddles and Door Closures
Breakers in Offset Shroud
ASEA Breakers
2962044 cores, 1150C max on tubes 1 & 2 (Wet Ox)
2962079 cores, 1000C max on tubes 3 & 4 (Poly & PSG)
Transformers ok for 8” and/or high temp
Setup for 5” wafers. Can be upgraded to 8”
7630 Temp Controllers
Internal Torch (Tube 1)
Old style 7618 External Torch (Tube 2)•
(2) Schumacher ATCS15 Bubbler controllers for TCA
Unit 1100 and 2020 MFCs
Internal UPS
Individual Input and Output modules
Bulkhead cabling
55x22 Software
(2) 7900 Atmospheric Gas Modules (tubes 1 & 2)
(2) 8100 LPCVD Gas Modules (tubes 3 & 4)
Pumps, fore lines, vacuum components for the two LPCVD tubes are not included
1992 vintage.
DIRE 10 est un four de diffusion et ses accessoires qui sont utilisés pour produire du silicium (Si) et du silicium polycristallin dopé (DPSC). Le four et ses accessoires sont des outils précieux pour le développement de semi-conducteurs performants. 10 four peut travailler à des températures allant jusqu'à 1150 ° C et est capable de traiter des écoulements allant jusqu'à 30 heures. Il est équipé d'un équipement de contrôle automatique avancé et utilise des systèmes de chauffage et de refroidissement sans soudure pour assurer la précision et l'efficacité. Ce système permet un contrôle de température serré et des résultats fiables. Le four est également équipé de systèmes automatisés de creuset de quartz et d'alumine pour assurer un chauffage uniforme et un dopage homogène. Cette unité permet un excellent dopage au plomb par les précurseurs de l'azote, du phosphore et du bore, ainsi que le dopage au germanium. Le creuset est alimenté par une lampe haute puissance et peut produire jusqu'à 7.5kW/cm2 de puissance distribuée efficacement. Les accessoires des fours comprennent des consommables de quartz et d'alumine et des composants auxiliaires conçus pour une performance et une sécurité optimales. Les consommables de quartz et d'alumine sont conçus pour éviter la contamination du four et s'assurer que les gaz et les réactifs ne sont pas mélangés. Les composants annexes permettent un remplissage et un drainage efficaces du four, ainsi qu'un contrôle précis des températures du creuset. DIRE 10 comprend également une machine de distribution de gaz et de réactif qui est conçue pour fournir un contrôle précis du débit et des résultats cohérents. Cet outil est entièrement automatisé et utilise des capteurs et des contrôleurs avancés pour garantir un fonctionnement précis et des résultats fiables. 10 est conçu pour fournir aux utilisateurs un processus de diffusion fiable et efficace, qui se traduit par des rendements élevés et une qualité de matériau constamment excellente. Avec son contrôle de température de haute précision, ses consommables de quartz et d'alumine efficaces et son atout automatisé pour la livraison de gaz et de réactifs, DIRE 10 garantit des résultats cohérents et performants.
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