Occasion DSI SD-200 #156913 à vendre en France
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Le four DSI SD-200 est un équipement de diffusion avancé conçu pour assurer une diffusion rapide et à haute fréquence de gaz, tels que l'azote, l'argon et l'hydrogène, dans des plaquettes de silicium pendant le processus de fabrication. Le système utilise une conception innovante de four à quatre zones pour obtenir un contrôle de température et une uniformité très précis sur l'ensemble du four. Ceci permet d'assurer que la diffusion souhaitée des gaz dans la plaquette est réalisée de manière cohérente. L'unité offre également une machine de refroidissement unique qui contribue à maintenir la température de l'ensemble de l'outil stable et uniforme dans le temps, ce qui augmente encore la qualité et l'efficacité du processus de diffusion. SD-200 four de diffusion est constitué d'un module de chauffage inductif à trois zones, d'une alimentation électrique à l'état solide entraînant soit un générateur de courant, soit des charges à l'état solide à commutation LC à commande thyristorique, d'un module de commande et d'un panneau de commande logiciel. Le module de chauffage à trois zones contient trois zones de chauffage uniques avec des capteurs de température distincts. En utilisant cet actif, la température dans chaque zone peut être contrôlée avec précision, ce qui permet une application uniforme de la chaleur et une diffusion des gaz dans le matériau cible. Cela permet une diffusion efficace et cohérente du matériel. L'alimentation à l'état solide fournie par le modèle est conçue pour fournir des performances répétables et fiables et est conçue pour être très capable de fournir la puissance de commande requise à la fois au générateur de puissance et à la commutation à l'état solide contrôlée par thyristor. En combinant ce dispositif avec le module de chauffage inductif à trois zones et un panneau de commande logiciel, l'équipement de diffusion DSI SD-200 est capable de fournir des résultats de diffusion précis et reproductibles. Enfin, le système est accompagné d'une panoplie d'accessoires et de composants. Il s'agit notamment d'un compensateur de puissance, de régulateurs de température, de modules d'obturation, de filtres, de capteurs et de tuyaux de remplissage inerte. Tous ces composants peuvent être utilisés pour améliorer la précision, la répétabilité et l'efficacité du processus de diffusion. SD-200 four de diffusion est conçu pour fournir une solution de diffusion efficace et fiable pour les fabricants de semi-conducteurs. En combinant des composants avancés et un module de chauffage contrôlé, l'unité est capable de fournir des résultats reproductibles et cohérents. Grâce à un design innovant et aux accessoires qui l'accompagnent, le four de diffusion DSI SD-200 constitue un outil pratique et fiable pour les fabricants de semi-conducteurs.
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