Occasion ESPEC PHC-111M #9352229 à vendre en France
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ESPEC PHC-111M est un four de diffusion conçu pour le traitement de plaquettes semi-conductrices à grande échelle. Équipé d'une membrane haute température (HTP), c'est un outil idéal pour le traitement de substrat à grande échelle (LSI) et le recuit à haute température. Avec une plage de température de 100 à 1100 ° C, PHC-111M est capable de contrôler avec précision et de maintenir des températures dans une plage de 0,1 ° C sur une variété de matériaux semi-conducteurs. Son élément chauffant, un filament à haut rendement de 5000 watts, est capable de fournir à la fois des températures élevées et basses pour un tissage précis. Pour maintenir une répartition constante de la température, ESPEC PHC-111M est équipé d'un ventilateur d'échappement qui aide à faire circuler la chaleur uniformément dans toute la chambre de chauffage. Avec une capacité de 45 litres, PHC-111M peut traiter jusqu'à 8 pouces de plaquettes ou substrats semi-conducteurs en utilisant la technologie de production de masse. De plus, sa chambre interne en céramique assure une oxydation et une contamination minimales lors du traitement. L'unité est également conçue pour accueillir divers appareils, dont des bateaux à quartz et graphite, des tablettes à gaz et des dispositifs de surveillance à couches minces. Pour améliorer encore la précision et la répétabilité, ESPEC PHC-111M est livré avec un contrôleur de micro-ordinateur embarqué avec la possibilité de surveiller la température de la chambre de chauffage, la sortie du chauffage et les paramètres de réglage. Le contrôleur se concentre sur la démonstration de l'uniformité, de la précision et de la fiabilité et comprend des fonctions telles que le contrôle PID, la mesure de la température, le diagramme de bande, l'autodiagnostic et les fonctions d'alarme temporelle. En termes de sécurité, PHC-111M dispose également d'un détecteur de tremblement de terre, de protections en circuit ouvert et en court-circuit, et d'un système de verrouillage qui empêche l'ouverture du four pendant son fonctionnement. L'unité utilise également un système de partage de temps dans lequel plusieurs programmes peuvent être programmés et exécutés simultanément, ce qui permet une uniformité et une fiabilité lors des applications de production de masse. Enfin, ESPEC PHC-111M est équipé d'une gamme d'accessoires, dont une fenêtre d'observation de quartz, un pyromètre très sensible, un thermocouple, un câble électrique, un connecteur PC et un enregistreur de données thermocouple. Il offre également un module de chauffage en graphite externe pour une précision et une flexibilité accrues du processus.
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