Occasion EUGENE BJM3000 #9311273 à vendre en France
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EUGENE BJM3000 est un four de diffusion et un équipement accessoire utilisé pour la diffusion de divers matériaux utilisés dans des industries telles que la production de dispositifs semi-conducteurs. Le système se compose de trois composants principaux : le four principal, la chambre de diffusion et l'unité auxiliaire. Le four principal de BJM3000 présente une masse thermique importante et est capable de fournir une plage de températures allant de 0 à 1650 ° C Il dispose d'éléments chauffants à double carbure de silicium (SiC) avec régulateurs de puissance indépendants fournissant un contrôle thermique précis. Le four principal est également équipé de deux pompes à vide, d'une entrée de gaz inerte et d'un évent d'échappement pour améliorer l'entretien de l'atmosphère du procédé. La chambre de diffusion est capable de procéder à la diffusion à des températures comprises entre 480 ° C et 1050 ° C La chambre abrite une plaque multicouche en quartz qui sert de source de matériau de procédé. La plaque à foyer en quartz est conçue pour permettre aux gaz de diffusion d'interagir uniformément avec les plaquettes de procédé. L'unité accessoire auxiliaire d'EUGENE BJM3000 comprend une boîte à gaz unitaire pour la distribution et l'injection de gaz, un collecteur d'injection de vapeur et une machine de nettoyage de gaz pour les deux gaz dans la chambre de procédé et l'échappement de l'outil. Il dispose également d'une console de surveillance et de contrôle à distance avec interface utilisateur graphique, permettant des réglages de réaction dynamiques lorsque nécessaire. BJM3000 offre une gamme de solutions optimisées, allant des fours à très basse température aux diffusions à haute température. Sa gestion thermique efficace fournit des solutions de diffusion performantes, fiables et rentables pour la production de dispositifs semi-conducteurs haut de gamme.
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