Occasion FUJIFILM TC 2000 #9399084 à vendre en France
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ID: 9399084
Temperature controller
ASM Digital process control assembly
ASM Digital temperature controller assembly
Mass flow controller.
FUJIFILM TC 2000 est un four de diffusion et accessoires associés, utilisé principalement dans les opérations de fabrication de semi-conducteurs. Son but est d'assurer le dépôt réussi de couches métalliques extrêmement minces sur des plaquettes de silicium. TC 2000 comprend une chambre primaire avec quatre zones de construction en acier inoxydable, et une chambre secondaire avec deux zones distinctes. À l'intérieur de la chambre primaire se trouve une barrière thermique isolée thermiquement, auto-scellée, et un système d'échappement à flux gazeux. Les quatre zones peuvent être contrôlées indépendamment et sont utilisées pour réaliser différents types d'étapes de procédé, telles que l'oxydation, le nitrurage et la diffusion en couches profondes. FUJIFILM TC 2000 utilise un ensemble d'éléments chauffants résistifs, qui génèrent une énergie électrique directe convertie en énergie thermique. Celle-ci est transférée à la couche d'isolation thermique, ce qui assure une répartition uniforme et uniforme de la chaleur. Les températures de chaque élément de chauffage sont contrôlées à l'aide de régulateurs de température réglables, afin d'assurer un processus cohérent. Un système avancé de contrôle en boucle fermée basé sur PLC gère la programmation et le fonctionnement de TC 2000. Cela comprend les températures des chambres de processus contrôlées par PID, les opérations de porte et les fonctions de gestion d'alarme. Une interface tactile conviviale rend la programmation de FUJIFILM TC 2000 rapide et facile. TC 2000 est adapté à un large éventail de scénarios d'application, tels que la croissance du film, le retour d'activation, les diffusions dopantes et les traitements pré-thermiques. Il est également conçu pour être utilisé avec une large gamme d'accessoires compatibles tels que des protecteurs thermiques, des arbres continus et des ports de vide amovibles, permettant son utilisation dans une variété de réglages. Dans sa configuration standard, FUJIFILM TC 2000 est livré avec un contrôleur Mitsubishi, des ascenseurs de diffusion et des éléments chauffants de type maille pour faciliter le contrôle précis de l'épaisseur de la couche. Il comprend également une variété de dispositifs de sécurité, tels qu'un orifice d'évent pour gaz évaporé, un entretoise de sécurité et un pyromètre pour la mesure de la température. Dans l'ensemble, TC 2000 est un four de diffusion fiable et puissant conçu pour répondre aux exigences de fabrication les plus élevées. En tirant parti de ses éléments de contrôle et de chauffage avancés, FUJIFILM TC 2000 peut être utilisé pour fournir des couches métalliques minces et complexes avec une précision et une répétabilité élevées.
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