Occasion GASONICS / NOVELLUS HIPOX 6000 #293758592 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000 est un four de diffusion automatisé à haute performance spécialement conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. C'est un équipement multi-zones avec contrôle de température indépendant de chaque zone qui peut atteindre jusqu'à 1200 ° C pour la diffusion thermique, l'oxydation, le recuit, le traitement thermique rapide, et d'autres traitements connexes. GASONICS HIPOX 6000 peut accueillir des plaquettes jusqu'à 8 "de diamètre et dispose de multiples options pour la livraison de gaz de procédé. NOVELLUS HIPOX 6000 comprend un capuchon froid en graphite avec un bouclier intégré de nettoyage in situ qui peut être utilisé pour réduire les particules entrant dans la chambre du four et réduire les particules déjà présentes. Le four est conçu avec un convoyeur central programmable à deux zones qui fonctionne en mode manuel ou automatique pour le traitement par lots. La ceinture est capable de courir jusqu'à 12 plaquettes à tout moment. Il offre également une option pour une chambre de refroidissement pour un refroidissement rapide avec des ventilateurs externes. Le système de contrôle intégré pour HIPOX 6000 se compose d'un noyau PC industriel avec une interface tactile conviviale. Il est capable de stocker jusqu'à 100 recettes et peut stocker jusqu'à 32 lots de plaquettes pour un simple rappel. L'unité de contrôle permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster chaque zone de façon indépendante, ce qui permet un contrôle précis du processus. GASONICS/NOVELLUS HIPOX 6000 est un four avancé qui fournit des performances élevées avec un contrôle de température fiable et des capacités de production de particules faibles. Sa conception avancée lui permet de réaliser des recettes personnalisées avec ses capacités de nettoyage in situ. Il a également la capacité pour un débit élevé avec sa capacité de 12 plaquettes par course et une capacité de refroidissement rapide. La machine de contrôle intégrée permet aux utilisateurs de surveiller et d'ajuster les paramètres du processus avec précision et confiance.
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