Occasion GASONICS / NOVELLUS HIPOX #293770796 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS HIPOX est un four de diffusion très avancé spécialement conçu pour répondre aux besoins de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement fonctionne par évaporation d'un matériau solide, tel que le silicium, sur une surface par un procédé de dépôt chimique ou physique en phase vapeur (CVD/PVD). Le procédé d'évaporation, ou « diffusion », est réalisé dans une chambre à vide contenant du gaz inerte. Les surfaces du substrat à revêtir sont maintenues à une température contrôlée pendant que le matériau évaporé est enfoncé sur elles. Le système est construit sur une conception à cadre chaud en boucle fermée, où la chambre de processus est montée sur un cadre et chauffée par deux éléments chauffants internes. Le chauffage est contrôlé par un mélange de gaz inerte introduit dans la chambre et les vapeurs sont évacuées par une unité d'échappement partiellement vide. Le matériau vaporisé est entraíné à travers la chambre au moyen d'une machine dynamique à gaz chaud, qui assure une répartition homogène du matériau sur la surface. L'outil GASONICS HIPOX offre une variété de possibilités de processus, permettant à l'utilisateur d'adapter avec précision ses conditions de processus à leur application spécifique. Il est supporté par des capacités intégrées de surveillance et de contrôle du processus, capables d'installer des détecteurs dans la chambre pour surveiller les paramètres du processus tels que la pression, la température et le débit de gaz. L'actif est alimenté par sa propre alimentation triphasée indépendante. La conception robuste du modèle NOVELLUS HIPOX garantit des rendements de processus élevés et des dépôts micro-précis excellents. En outre, l'équipement offre deux fonctions de chauffage au four - chauffage flash, pour les applications à court terme, et chauffage de fond, pour des applications à long terme plus précises. Le système dispose également d'une chambre de préchauffage pour assurer le maintien constant des températures du procédé. Four de diffusion HIPOX est une unité bien conçue et très efficace, capable de fournir un revêtement dynamique répétable pour la fabrication de composants de haute précision à des vitesses élevées. Il peut accueillir un large éventail de tailles de substrat et peut être ajusté pour répondre aux exigences de processus les plus strictes. Sa capacité complète de suivi et de contrôle des processus accroît son efficacité, tandis que la conception du cadre et la construction robuste garantissent des performances fiables. Cette machine est idéale pour les applications nécessitant des niveaux élevés de précision et de répétabilité, ainsi que la finition de surface de haute qualité.