Occasion GT SOLAR 1001057 #9236068 à vendre en France
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ID: 9236068
Style Vintage: 2008
Multicrystalline furnace
Capacity: 650 kg
2008 vintage.
GT SOLAR 1001057 est un four de diffusion et des accessoires de GT SOLAR suite de systèmes de diffusion, conçu pour fournir le traitement thermique de la plus haute qualité pour une large gamme de substrats. Cette solution de diffusion fiable, efficace et économique est idéale pour diverses applications telles que la fabrication de dispositifs à couches minces utilisés dans l'industrie de la microélectronique. 1001057 est livré avec une alimentation électrique bi-mode robuste, un module de régulation à haute température et des systèmes de distribution de gaz efficaces. L'unité dispose d'une chambre de diffusion, d'un équipement de turbomachine et d'un ensemble d'imagerie thermique en option intégré. Il est également équipé d'un capteur de vide, ainsi que de fonctions de commande RF et optique. Ce système de diffusion est capable de fournir des processus de température jusqu'à 1000 ° C, avec un degré élevé de précision et de répétabilité, tout en fonctionnant avec un débit et une pression de gaz cohérents. Le module de contrôle intégré à haute température a été conçu pour fournir un contrôle de processus supérieur, permettant à l'utilisateur de passer entre les modes de pression hydrodynamique manuelle et hydrodynamique. La zone chaude, le capteur de température très sensible et la thermopile infrarouge sont inclus dans l'unité et permettent une surveillance et un contrôle précis du processus. La machine est capable de traiter tout type de plaquette, tel que du silicium polycristallin, de l'arséniure de gallium, du phosphure d'indium et du carbure de silicium. GT SOLAR 1001057 peut traiter des substrats jusqu'à 200mm (8 pouces) et a une limite de température élevée de 1350 ° C L'outil dispose de nombreuses fonctionnalités avancées, y compris les paramètres programmables, la gestion des recettes historiques et l'imagerie thermique. Le matériel de chauffage RF vise à minimiser le risque de non-uniformité et le modèle intégré de contrôle des contaminations assure un fonctionnement uniforme et efficace. De plus, la fonction de nettoyage de chambre est incluse pour garder le revêtement de chambre, le couvercle et la vanne de grille propres et exempts de réactions chimiques pendant l'utilisation de l'équipement. Ceci étant dit, le système est conçu pour un fonctionnement et une maintenance faciles, ce qui en fait le choix idéal pour les lignes de production automatisées ou les opérations manuelles. 1001057 four de diffusion et accessoires est un choix fiable et efficace pour toute ligne de production. Son fonctionnement polyvalent permet à l'utilisateur de traiter un large éventail de substrats, avec des résultats de processus supérieurs et reproductibles. Les capacités de processus à haute température, une interface conviviale et une construction robuste font de cette unité une option idéale pour toute application.
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