Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-1223V #9190226 à vendre en France
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ID: 9190226
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
Furnace, 12"
Process: Pyro
(100) Process wafers
Process type: Oxide
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Boat operation: 1Boat
Load lock: No
(25) Carrier slots
System control:
Main controller: CX3002C
Touch screen operation
Gas flow chart (Front, Rear)
Temperature controller: CQ1600
Pressure control: EPV100-AW
Controller power: Ø1 208V 150A
Heater power: Ø3 208V 350A
Oxygen analyzer: No
Tape heater controller: SR Mini
Torch
Process gases:
Process gas 1: N2
Process gas 2: N2
Process gas 3: O2
Process gas 4: O2
Process gas 5: H2
Process gas 6: Hcl
Process gas 7: N2
Process gas 8: N2
Gas distribution system:
Basic style: FUJIKIN IGS
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
Manual valve: FUJIKIN
Air operated valve: FUJIKIN
Regulator: AP Tech
MFC (Maker. Model): AERA
GAS Detector
Exhaust distribution system:
Air operated valve type
APC EPV-100
Baratron gauge
Main valve
Cold trap
Pump line
Wafer / Cassette handling:
Wafer alignment: No
(16) Cassette storage
Cassette in/out port
Cassette handling robot
Wafer transfer type: 1+4
Fork material: Ceramic
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
D4EX16975-1 Heater
TC Type: No
Spike T/C
Overtemp protect T/C
Door interlock
Exhaust System:
Heater exhaust
Gas box exhaust
Process exhaust
ETC:
Handy terminal
Maintenance zig: No
Operation manual: No
Electrical manual: No
Mechanical manual: No
Boat cap ass'y: No
Manifold ass'y
Cap base ass'y
Tube setting part ass'y
Missing parts:
Scavenser EXH MS3 Sensor
Torch TC
Currently warehoused
2001 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DD-1223V est un équipement polyvalent de fours à diffusion qui peut être utilisé pour toute une gamme d'applications, y compris la fabrication de semiconducteurs et de cellules solaires, le dépôt de couches minces et d'autres applications de fours. HITACHI DD-1223V dispose d'un tube de quartz isolé et d'une température maximale du four de 1 200 ° C Le four peut être installé dans des configurations verticales et horizontales et comprend un système de gaz interne pour ajuster les niveaux de bilan d'oxygène et d'azote. KOKUSAI DD-1223V est livré avec un ensemble d'accessoires conçus pour répondre à diverses exigences de processus. Ces accessoires comprennent un tube de revêtement en quartz pour réduire la contamination, une plaque de collecte pour collecter les éjections, un anneau d'anode pour empêcher l'arc et un réchauffeur creuset pour contrôler la température du substrat. De plus, le four comprend une variété de dispositifs de sécurité tels qu'une unité de surveillance des gaz, des filtres à gaz combustible, des arrêts de sécurité et un arrêt automatique lorsque la température dépasse les limites prédéterminées. DD-1223V dispose d'une interface tactile facile à utiliser et d'une large gamme de recettes préprogrammées pour différents processus. Le four est programmé via un PC compatible Windows et peut être télécommandé via une connexion réseau. De plus, le four comprend une interface RS232 pour se connecter à des systèmes externes afin de permettre aux utilisateurs d'accéder à des fonctions de contrôle et de surveillance supplémentaires. HITACHI/KOKUSAI DD-1223V est conçu pour être durable, fiable et économe en énergie. Le four est construit à partir d'aluminium robuste et comprend un tube en quartz à double isolation pour réduire la perte de chaleur induisant des températures constantes tout au long. Le four comprend également une machine refroidie à l'eau qui fait circuler le liquide de refroidissement à travers les circuits de puissance et de commande pour assurer un fonctionnement sûr et l'efficacité du refroidissement. Le four de diffusion HITACHI DD-1223V est un outil polyvalent, facile à utiliser, compact, peu encombrant et adapté à une gamme d'applications industrielles et de salles blanches. Il offre un fonctionnement fiable, des fonctions de contrôle de processus étendues, des caractéristiques de sécurité avancées, et un entretien facile. Avec son interface tactile intuitive, son pack complet d'accessoires et son large choix de recettes pré-programmées, KOKUSAI DD-1223V est un excellent choix pour n'importe quel utilisateur.
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