Occasion HITACHI KOKUSAI DD-1223VN #9293898 à vendre en France

HITACHI KOKUSAI DD-1223VN
ID: 9293898
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12" Process: ALD-TiN.
HITACHI KOKUSAI DD-1223VN est un four de diffusion haute performance conçu spécifiquement pour le processus de diffusion. Il a la capacité de traiter une large gamme de produits, des dispositifs semi-conducteurs à d'autres produits tels que des plaquettes, des poudres et des films minces. Le processus de diffusion de haute puissance est possible avec la chambre semi-réacteur du four, permettant un haut niveau d'efficacité et de puissance. Il dispose d'une construction en acier inoxydable durable avec un élément chauffant en graphite qui assure un fonctionnement fiable même dans des conditions de haute température. Le four dispose de deux contrôleurs indépendants, qui permettent un contrôle efficace du chauffage, des réglages du profil de température et de la répétabilité du cycle. Le four dispose également d'un système de sécurité intégré, qui est essentiel lorsque les fours de diffusion sont utilisés dans l'environnement de production des dispositifs semi-conducteurs. Cela garantit un fonctionnement sûr et fiable sans aucune possibilité d'explosions ou d'autres accidents. Il dispose également d'un système d'arrêt automatique du gaz pour s'assurer que l'oxygène n'entrera pas dans la zone de traitement. L'une des caractéristiques les plus impressionnantes de DD-1223VN est sa précision et sa répétabilité exceptionnelles. Cela garantit que les processus de diffusion sont qualifiés et fiables. Le four présente également une excellente homogénéité de température, ce qu'on appelle des « points chauds » sont évités à tout moment du processus. En outre, le four comporte également deux capteurs de température indépendants (thermocouples de type K), ainsi que deux conduites de gaz indépendantes, ce qui signifie que deux gaz différents peuvent être utilisés simultanément dans différentes zones du four. Cela permet plusieurs couches de processus de diffusion sur un même substrat. En outre, il comporte également une chambre de mélange de gaz pour assurer un contrôle précis du débit et de la concentration de gaz. Pour garantir la meilleure efficacité du processus de diffusion, le four dispose également d'un système d'injection de gaz de haute précision. On assure ainsi une bonne injection et une bonne répartition du gaz dans l'enceinte, ce qui conduit à un processus homogène. De plus, un gaz inerte peut être alimenté par une entrée du côté du four pour des conditions de sécurité et de traitement uniformes. Enfin, HITACHI KOKUSAI DD-1223VN comprend également un service d'installation sur site peu coûteux et inégalé, qui garantit que le processus d'installation est aussi facile que possible. Avec ces caractéristiques, ce four de diffusion offre des performances et une fiabilité exceptionnelles, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans toutes les applications.
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