Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-803V #293633553 à vendre en France
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ID: 293633553
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
Vertical furnace, 8"
Atmospheric controller
Hand controller
CX2000 Controller
SECM / GEM Communication: Serial
Utility cabinet
CQ1501 Temperature controller
(4) Zones
D4EX02728 Heater
Process temperature: 700°C-1000°C
Flatzone length: 952.50 mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: Quartz
Tube seal configuration: N2 Flow
R-Type thermocouple
Exhaust controller
Transformer
Temperature control:
P: 0.1~200%
I: 0.01-100.00 min
D: 0.00-10.00 min
Load station:
WIP Carrier capacity: 16
Wafer spacing: 5.20 ±0.05 mm
Load size: 150-Slots
Boat rotation
Process gas control system:
External torch
H2 Burn off
Bubbler
Process gas (Atmosperic):
MFC Model: SEC-Z500, SEC-4500, SEC-4400 / Analog
Process gas: N2, H2, Ar, O2, N2O
SCHUMACHER ATCS 15 Bubbler system
Other gases: UN2 (Air/N2)
Input power supply:
Heater: 208VAC, 50KVA, Single phase
Controller: 100VAC, 4KVA, Single phase
Clean Unit: 100VAC, 1.5KVA, Single phase
Start-up PSU: 24VDC
1998 vintage.
Le four de diffusion HITACHI/KOKUSAI DD-803V est un outil avancé, fiable et efficace pour les fabricants de semi-conducteurs. Ce four a une conception de type à flux gazeux et peut effectuer une variété de processus de diffusion à haute température. Il offre une grande vitesse, une reproductibilité élevée et des capacités de refroidissement. Le four comprend une conception de type à flux gazeux, qui permet un chauffage et un refroidissement sûrs et équilibrés du matériau. Il comprend également plusieurs contrôleurs, dont un contrôleur de température, un contrôleur de débit et un contrôleur de pression. Le four a une large plage de température et est capable de fonctionner jusqu'à 1500 ° C Il dispose de techniques avancées d'agitation et de mélange, permettant une répartition uniforme de la chaleur dans le matériau. Le four comporte également un tube de quartz protecteur, lui permettant de fonctionner sous vide. Le four est équipé d'un système mécanique aérien, conçu pour faciliter le déplacement et le chargement des éléments du four. Le four comporte également plusieurs caractéristiques de sécurité, telles qu'un système intégré d'isolation thermique et une alarme de surchauffe. Le four comprend également un certain nombre de caractéristiques supplémentaires, telles qu'une minuterie, une alarme à basse température, une alarme à haute température et une minuterie de purge. Le four dispose également d'un système de contrôle automatisé, permettant un contrôle fin du procédé. Le four de diffusion HITACHI DD-803V est également disponible avec une variété d'accessoires, tels qu'un emballage de refroidissement, une rondelle et un isolateur. L'emballage de refroidissement permet de refroidir le four rapidement et efficacement, tandis que le mandrin en allure permet de maintenir le substrat dans le four de façon sûre. L'isolateur est utilisé pour protéger le substrat contre la contamination. Dans l'ensemble, le four de diffusion KOKUSAI DD-803V est un outil fiable, efficace et sûr pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre une large gamme de températures, des techniques avancées d'agitation et de mélange, des contrôleurs multiples, et une variété d'accessoires pour assurer des processus de diffusion uniformes.
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