Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-803V #293633554 à vendre en France
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ID: 293633554
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
Vertical furnace, 8"
Atmospheric controller
Clean unit controller
CX2000 Controller
Utility cabinet
CQ1501 Temperature controller
(4) Zones
D4EX02728 Heater
Process temperature: 700°C-1000°C
Flatzone length: 952.50 mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: Quartz
Tube seal configuration: N2 Flow
R-Type thermocouple
Exhaust controller
SECM / GEM Communication: Serial
Temperature control:
P: 0.1~200%
I: 0.01-100.00 min
D: 0.00-10.00 min
Load station:
WIP Carrier capacity: 16
Wafer spacing: 5.20 ±0.05 mm
Load size: 150-Slots
Boat rotation
Process gas control system:
External torch
H2 Burn off
Bubbler
Process gas (Atmosperic):
MFC Model: SEC-Z500, SEC-4500, SEC-4400 / Analog
Process gas: N2, H2, Ar, O2, NO
SCHUMACHER ATCS 15 Bubbler system
Other gases: UN2 (Air/N2)
Input power supply:
Heater: 208VAC, 50KVA, Single phase
Controller: 100VAC, 4KVA, Single phase
Clean Unit: 100VAC, 1.5KVA, Single phase
Start-up PSU: 24VDC
Handler missing
1998 vintage.
Le four et les accessoires de diffusion HITACHI/KOKUSAI DD-803V offrent une solution complète pour le recuit, le frittage et la diffusion. Cet équipement de four de diffusion est composé d'une plate-forme de chauffage et de refroidissement (HCP) entièrement automatisée et de performances d'action fiables, qui convient à une variété de matériaux et de procédés. HITACHI DD-803V est une machine polyvalente avec une large gamme d'applications. Il dispose de quatre chambres, dont une chambre de four, une chambre de refroidissement, et deux auxiliaires. La chambre du four présente un certain nombre de caractéristiques, telles que des régulateurs de température numériques, une circulation forcée d'air et une chambre de refroidissement intégrale. La chambre de refroidissement permet un refroidissement efficace pour une gamme de matériaux et de procédés. Il fonctionne efficacement avec ou sans l'aide de gaz inerte, comme Argon. KOKUSAI DD-803V est construit autour d'un cadre métallique solide qui offre une durabilité durable, même dans des environnements de travail difficiles. Il est équipé d'une isolation céramique puissante qui améliore les performances et minimise les coûts d'entretien et d'énergie. Le four est contrôlé par une interface tactile conviviale, permettant une configuration et un fonctionnement faciles. De plus, grâce à ses mécanismes de sécurité intégrés, le four reste sûr pour une utilisation dans un large éventail d'environnements. DD-803V four et accessoires de diffusion est conçu pour répondre aux besoins et aux exigences de nombreux matériaux et procédés, y compris la production de semi-conducteurs et de cellules solaires, la recherche et le développement, les applications en couches minces et la fabrication de dispositifs médicaux. Le système de traitement multi-zones (MPS) offre un contrôle avancé des températures de processus et des conditions ambiantes, garantissant des résultats précis et cohérents. L'uniformité de la chambre du four est maintenue par l'unité de commande de chauffage haute performance, avec un contrôle de zone réglable et une machine de régénération automatisée en option. En plus du four, le four de diffusion HITACHI/KOKUSAI DD-803V et les accessoires comprennent un certain nombre d'accessoires utiles. Par exemple, une unité de distribution de puissance, une plate-forme de cellule de charge, des systèmes de fixation, des enceintes à gaz inerte et un contrôleur logique programmable pour un contrôle et une surveillance avancés. HITACHI DD-803V est idéal pour des processus précis et des composants sensibles en raison de sa régulation de température précise, son homogénéité et sa fiabilité exceptionnelles, et ses caractéristiques de sécurité complètes.
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