Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9211006 à vendre en France

HITACHI / KOKUSAI DD-812V
ID: 9211006
Taille de la plaquette: 6"
Furnace, 6" Process: PYRO Utility box.
HITACHI/KOKUSAI DD-812V est un four de diffusion et un accessoire utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un four de type vertical équipé d'une zone chaude avec trois éléments chauffants : un chauffage résistif en graphite, une lampe halogène en quartz et un chauffage en céramique infrarouge. La température du four peut atteindre 1000 ° C et présente une grande uniformité thermique. Il présente une excellente caractéristique environnementale, ce qui le rend apte au dépôt épitaxial semi-conducteur. Il dispose d'un équipement de distribution de gaz tridimensionnel de pointe avec réglage dynamique, permettant une distribution de gaz précise et stable tout au long du cycle de processus. Le système est capable d'un contrôle précis du débit de gaz, permettant une grande variété de procédés. En outre, le débit du gaz régulateur de débit peut être ajusté pour répondre à des conditions de dépôt spécifiques. La zone chaude est composée de deux parties : supérieure et inférieure. La partie supérieure est utilisée pour chauffer la plaquette et la partie inférieure est utilisée pour contrôler l'atmosphère du procédé. Le four est équipé d'un contrôleur à microprocesseur haut de gamme, permettant un contrôle optimal du processus et une régulation précise de la température. Le contrôleur facile à utiliser supporte plus de 50 recettes et permet une programmation simultanée de 100. De plus, le four est accompagné d'une large gamme d'accessoires, dont un panneau de gaz, une unité d'échappement à haut rendement et un chauffe-tube à quartz. Le panneau de gaz aide à contrôler le débit de gaz d'entrée et fournit une machine de distribution de gaz précise. L'outil d'échappement aide à retirer les vapeurs et les gaz de l'actif pour maintenir un environnement de travail propre. Le chauffe-tube à quartz permet de maintenir constante la température de la surface de dépôt. Le four est conçu pour offrir une efficacité maximale du procédé et un excellent contrôle du procédé. Il dispose de la photographie super haute résolution, ainsi que d'un modèle de sécurité fiable pour empêcher l'accès non autorisé. L'équipement est appuyé par un programme de service complet qui assure l'entretien et le soutien de routine. HITACHI DD-812V est un choix idéal pour la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir un contrôle précis de la température et des performances de processus maximales avec la plus grande fiabilité. Ses applications typiques comprennent la croissance et le développement de barrières Schottky, des contacts ohmiques et des couches épitaxiales.
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