Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-812V #9397458 à vendre en France
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ID: 9397458
Style Vintage: 2007
Vertical diffusion furnace
Robot: NG
(4) Resistance heating cartridge heater zones
Effective area: φ276 mm
Heat uniformity length: 800 mm (heater stand alone)
Operating temperature range: 400°C~850°C
Quartz incorporated (wafer fully charged)
Heat equalization length: 740 mm
Operating temperature range: 400°C - 500°C
Cassette shelf: (3) Rows x (3) columns
Cassettes: 9"- 6"
Maximum power consumption: 800°C
Power supply: 200 V, 3.6 kW, 3-Phase
2007 vintage.
Le four de diffusion HITACHI/KOKUSAI DD-812V est conçu pour les applications d'oxydation et de recuit thermique rapide. Avec un tube en quartz de 8 pouces de diamètre, il offre une excellente uniformité et un contrôle de processus serré. Le four peut traiter des films d'oxyde et de nitrure. Sa capacité de température élevée jusqu'à 1250 ° C et sa précision de répétabilité de +/- 0,1 ° C garantissent des résultats fiables et cohérents pour des processus exigeants tels que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. HITACHI DD-812V dispose d'un équipement unique de contrôle de zone, permettant des profils de chauffage précis pour l'optimisation des processus. Il est équipé de deux dispositifs de chauffage indépendants et de deux porte-tubes en quartz qui permettent de fonctionner à des températures allant de la température ambiante à 1250 ° C. Le four assure également une surveillance complète à travers les alarmes, les compteurs thermiques et la logique de contrôle des processus. KOKUSAI DD 812V est équipé de plusieurs accessoires tels qu'une turbomachine, une pompe de soutien, un bocal à quartz, une plaque réfrigérante et un régulateur de pédales. La turbomachine permet d'éliminer efficacement les molécules de gaz pendant le processus d'oxydation, tandis que la pompe de soutien empêche l'admission d'air. Le bocal en quartz est utilisé pour assurer le maintien de l'environnement du procédé, tandis que la plaque réfrigérante réduit le risque de choc thermique. Enfin, la pédale de pied offre un contrôle supplémentaire, vous permettant d'ajuster avec précision le réglage thermique et de démarrer/arrêter le four. DD 812V offre une gamme complète de dispositifs de sécurité, y compris une protection contre les températures excessives et un système de verrouillage thermique. Cela garantit que le processus reste sûr et stable, permettant un fonctionnement fiable même pendant les processus de longue durée. L'unité est également capable de stocker jusqu'à dix menus de fonctionnement et peut connecter jusqu'à trois profils de température. Le four de diffusion HITACHI DD 812V est une machine puissante et fiable, avec un excellent contrôle des processus et une répétabilité pour les films d'oxyde et de nitrure. Ses commandes et fonctionnalités faciles à utiliser, combinées à des dispositifs de sécurité avancés, en font un choix idéal pour une variété de procédés de diffusion et de recuit.
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