Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-833V-8B #9281053 à vendre en France

HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B est un four à diffusion avancée et des accessoires qui fournit une solution complète pour divers procédés, y compris l'or, l'aluminium, le silicium et le dépôt de cuivre. Le four de diffusion est construit avec une commande multi-zones pour fournir un contrôle précis et une précision répétable. Les caractéristiques avancées fournissent un contrôle précis de la température et des temps de chauffage rapides, tout en permettant l'épaisseur du matériau et l'uniformité entre les couches. Il peut traiter des substrats jusqu'à 8 "de taille et la plage de température peut être réglée de 70 ° C à 1200 ° C Il dispose également d'un processus de revêtement sensible à la pression et d'un contrôle programmable multi-zones pour minimiser les gradients thermiques. Le contrôle fin de la température de HITACHI DD-833V-8B permet des taux de dépôt plus élevés et est idéal pour les applications de bosses sur les dispositifs semi-conducteurs. Le four dispose également d'un équipement de contrôle de la phase d'oxydation (OPCS) pour l'oxydation reproductible. Le réchauffeur est un type d'induction haute fréquence qui permet une distribution de chaleur uniforme et plaquée tandis que les capteurs latéraux CR (x2) assurent des mesures de température précises et précises. En haut du four, une vue en verre de quartz offre une excellente visibilité à haute température. KOKUSAI DD-833V-8B dispose également d'un système de vieillissement qui fonctionne sur des substrats épais et utilise une source d'énergie RF modulée et des programmes avancés en mode C pour le dopage haute densité. La mesure de la température est assurée par un capteur thermique haute performance, permettant le réglage précis de la température du four. DD-833V-8B est livré avec une trousse de base d'accessoires comprenant des brides d'anode, l'ensemble du bras d'entraînement d'anode rotatif, l'alimentation électrique à haute température, les tuyaux, et les câbles de connexion. La machine de commande complète comprend un écran LCD couleur haute résolution, chaleur HI/LO, temps de rampe, temps de processus total, historique de processus visuel, contrôle de mouvement 5 axes, et toutes les opérations de fonction clé. Dans l'ensemble, HITACHI/KOKUSAI DD-833V-8B est un four de diffusion avancé et des accessoires pour divers procédés. Il dispose d'un contrôle multi-zones, d'un contrôle précis de la température, d'OPCS, d'un chauffage HFIC, d'un équipement mural et d'un kit d'accessoires de base. Le modèle de contrôle complet fournit tous les outils nécessaires pour assurer une sortie de processus très efficace et reproductible.