Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-833V #293749184 à vendre en France

HITACHI / KOKUSAI DD-833V
ID: 293749184
Diffusion furnace.
HITACHI/KOKUSAI DD-833V est un four de diffusion et des accessoires conçus pour fournir un contrôle de température de haute précision pour un large éventail d'applications. Il utilise un tube de quartz vertical traversé par un mélange gazeux pour obtenir un chauffage uniforme des plaquettes. Le grand diamètre intérieur permet de traiter simultanément de grands lots de plaquettes et d'épaisseurs de couches, tandis que la précision de température élevée permet un contrôle précis du temps de transfert et du transfert thermique. Le four de diffusion est un modèle à trois axes, qui dispose d'un pyromètre optique pour surveiller et contrôler avec précision la température dans plusieurs zones. Il comprend également un protecteur de tube à quartz pour le contrôle de la température, une chambre à quartz et une cloche à quartz. Le four est construit en acier inoxydable de haute qualité résistant à la corrosion et est équipé de régulateurs de puissance à semi-conducteur, de moniteur de pression électronique, d'obturation d'urgence et d'indicateurs de niveau. Les accessoires de HITACHI DD-833V comprennent une chambre à vide, une pompe moléculaire turbo, un entraînement rotatif, une soupape de sécurité, un régulateur de débit, un interrupteur de pression, un manomètre et un détecteur de chaleur de plaquettes. La chambre à vide permet d'éliminer la présence d'air dans le four de diffusion, assurant ainsi des résultats de qualité. La pompe turbo moléculaire fonctionne à grande vitesse pour pomper les gaz du four de diffusion, tandis que l'entraînement rotatif est utilisé pour faire tourner les plaquettes à l'intérieur du four de diffusion pendant leur traitement. La soupape de sécurité incluse est conçue pour limiter rapidement la pression au besoin, et le régulateur de débit assure une régulation précise du mélange gazeux. Le manomètre et l'interrupteur de pression sont conçus pour surveiller et contrôler les niveaux de pression pendant le traitement. Le détecteur de chaleur de la plaquette fournit une rétroaction visuelle sur la température de la plaquette. En outre, KOKUSAI DD 833V comprend deux systèmes de refroidissement et un contrôleur de température. Le premier système de refroidissement est installé dans le collecteur d'échappement et est conçu pour refroidir rapidement le mélange gazeux sortant du four de diffusion. La seconde unité est un refroidissement de type sec et le régulateur de température permet de réguler précisément la température dans une plage de 50 à 1000 ° C La machine de diffusion HITACHI DD 833V fournit un contrôle précis de la température et du flux de paramètres thermiques, ce qui en fait un choix idéal pour un large éventail d'applications.
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