Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-833V #9238012 à vendre en France
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ID: 9238012
Taille de la plaquette: 6"
Diffusion furnace, 6"
Process: PYRO (HCL)
Process gas: N2, H2, O2, HCL
Loading system:
Front operation panel: R-Axis
Pass box (Load lock): Cassette loader
CX 3002 Main controller
CX 1220 Mecha controller
Wafer counter, 6" (every 25)
I/O Stage check: Air off
CX 3002 Cassette loader
Wafer transfer: Air Off ((5) vacuum tweezer, 6")
Furnace system:
CQ 1500 (DN-150) Temperature controller
D4EX 05414 Heater
SIC Profile
(4) Controllers
(4) Monitors
Gas system:
CX 1311 MFC Controller
MFC (STEC):
MFC1: 30SLM
MFC2: H2 20SLM
MFC3: O2 20SLM
Model / Gas:
MFC4: O2 2SLM
MFC5: HCl 1SLM
MFM: N2 10SLM
(2) Filters
Pressure control system:
AERA RC-100F Pressure controller
Valve open / Close check: APC Valve area RV-100
Burning system:
CX 1310 Burn controller
Power:
Heater: 3Φ, AC 200 V, 42 kVA
Control: 1Φ, AC 100 V, 30 A
Clean unit: 1Φ, AC 100 V, 40 A.
HITACHI/KOKUSAI DD-833V est un four de diffusion avancé et des accessoires conçus pour fournir un contrôle précis de la température et l'uniformité pour une variété de matériaux. Le four dispose d'une chambre de chauffage à sixième paroi en molybdène, d'un élément chauffant à tube en quartz de grande puissance, d'une pompe à diaphragme à deux étages et d'un régulateur de température de haute précision. Avec ces caractéristiques, HITACHI DD-833V est capable de contrôler étroitement les températures jusqu'à 1 400 ° C lors de divers processus de diffusion. Le four peut être utilisé dans des applications nécessitant une diffusion thermique rapide, telles que le dépôt mince de métaux et de verre, les procédés CVD et le traitement thermique. La chambre de chauffage en molybdène de KOKUSAI DD 833V est conçue pour chauffer rapidement les matériaux avec des pertes thermiques minimales. L'élément chauffant de type tube à quartz fournit une réponse exacte aux changements de température pour une diffusion thermique précise et cohérente. La pompe à diaphragme à deux étages située à côté du four permet de réduire le risque de contamination superficielle. Les régulateurs de température de haute précision assurent un contrôle précis de la température et une uniformité permettant un fonctionnement rapide et précis du four de diffusion. L'emballage comprend également des accessoires supplémentaires conçus pour améliorer le fonctionnement de DD 833V. Un support réglable en hauteur est inclus pour aider à positionner les échantillons dans le four. Un mécanisme de levage du couvercle permet un accès facile aux échantillons lors du traitement thermique. Un module d'alimentation séparé est prévu pour fournir des sources d'énergie supplémentaires, telles que le gaz sec, pour le four de diffusion. En outre, une variété de panneaux de commande de four, composants électriques et autres accessoires sont inclus avec DD-833V pour permettre un contrôle précis du processus de diffusion. Les panneaux de contrôle sont faciles à utiliser, offrant des commandes intuitives et un ensemble d'indicateurs pour surveiller la température et la progression de la diffusion. Tous les composants électriques nécessaires sont inclus pour une connexion sûre et fiable à la source d'énergie. KOKUSAI DD-833V est un ensemble avancé et fiable de fours de diffusion et d'accessoires, offrant un contrôle précis de la température et une uniformité pour une variété de matériaux. Grâce à son système de chauffage supérieur, ses accessoires et ses panneaux de commande faciles à utiliser, HITACHI DD 833V fait de la diffusion thermique un processus simple et complexe.
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