Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-853 #293643214 à vendre en France
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ID: 293643214
Taille de la plaquette: 8"
System, 8"
Process: J2 Pyro
Gas supply: Bottom
PCW Supply: Bottom
Controller power: 120 VAC, Single phase
Heater power: 208 VAC, Single phase
Hard Disk Drive (HDD)
Power box
Heater upper cover
Gases: N2, H2, O2, TLC (DCE)
Torch heater
CX1317 Torch controller
ATCS-15 SCHUMACHER
CQ1600 Temp controller
PLC OMRON
CX3202 Gas controller
Gas box
Gas box DCE Line
CX3002/B Main controller
D4EX05486 transformer
SIC Liner tube
SIC Boat
SIC Boat cap
SIC Boat Pin
SIC Torch liner tube
Temperature controller:
Heater controller
Heater over
Driver mechanisms:
I/O Shutter
I/O Stage
FOUP Loader ARM
Wafer detection: 25 Uin
Wafer transfer
1+4 Ceramic fork
Boat elevator
Sealcap
Turntable
Pendent
No heater
Racks:
(4) Lower 2
(5) Upper 2
(2) Sub 2
Gas supply:
MFC
Valve
Torch unit
ATCS-15 Absolute temperature control system
Drivers:
E-Axis motor
R-Axis motor
Z-Axis motor
X-Axis motor
Y-Axis motor
V-Axis motor
CS-Axis motor
CZ-Axis motor
CX-Axis motor
CY-Axis motor
OR-Axis motor
Exhaust system:
HORIBA STEC EC-5000 / PVU-3000 Exhaust APC Valve
Pressure sensor.
HITACHI/KOKUSAI DD-853 est un four de diffusion et des accessoires qui fournit aux utilisateurs un haut niveau de contrôle et de performance lors de son utilisation pour les processus de diffusion et de recuit. HITACHI DD-853 est équipé d'un équipement de contrôle unique et de haute précision qui permet un contrôle étroit de la température, du timing et de la pureté des gaz. Le corps de four est construit en matériaux durables et haut de gamme et est conçu pour protéger le processus et l'environnement contre l'usure excessive. Au cœur de KOKUSAI DD-853 se trouve un réacteur à quartz monocellulaire monté verticalement. Ce positionnement vertical permet des performances supérieures des procédés de diffusion et de recuit. Le four peut atteindre des températures allant jusqu'à 1450 ° C et peut fournir une puissance maximale de 3.2kW. L'uniformité de température est maintenue à +/- 5 ° C en haut et en bas de la longueur du corps du meuble. Le système de surveillance des processus de diffusion est conçu pour être facile à utiliser, permettant aux utilisateurs d'ajuster soigneusement leurs processus pour une performance optimale. Le four est également équipé d'une unité de lavage d'air pour assurer l'utilisation d'air propre tout au long du processus de diffusion et de recuit. Cette machine comprend des filtres et des systèmes de refroidissement et fonctionne en boucle fermée. Un récipient sous pression est intégré à l'actif et rempli des gaz approuvés nécessaires aux processus de diffusion ou de recuit. Le four est également équipé d'une série de capteurs de pression et de déplacement pour assurer un contrôle optimal du processus. DD-853 comprend également une série d'accessoires et d'outils d'imagerie, y compris un pyromètre, un microscope et un modèle d'imagerie. Cette combinaison permet aux utilisateurs de surveiller avec précision leurs processus de diffusion et de recuit. Le pyromètre est conçu pour mesurer la température de l'échantillon lors du recuit ou de la diffusion et fournir des lectures détaillées. Le microscope et l'équipement d'imagerie sont conçus pour fournir un niveau élevé de détail et de précision, tout en fournissant des images du matériau de l'échantillon pendant qu'il est diffusé ou recuit. Enfin, HITACHI/KOKUSAI DD-853 est livré avec une variété de fonctions de sécurité conçues pour protéger l'utilisateur et l'environnement. Le four est conçu avec des interrupteurs de défaut de masse et des soupapes de contrôle de pression pour couper automatiquement l'alimentation si nécessaire. Le capot d'échappement est conçu pour fournir un chemin d'échappement propre, tandis qu'un système de filtration multi-étapes attrape et contrôle les fumées. Le four comporte également un bouton d'arrêt d'urgence qui ferme immédiatement l'alimentation lorsqu'il est pressé. En résumé, HITACHI DD-853 est un four de diffusion et des accessoires qui fournit aux utilisateurs un haut degré de contrôle et de performance pour les processus de diffusion et de recuit. L'unité comprend une variété de fonctionnalités et d'accessoires qui permettent aux utilisateurs de contrôler soigneusement leurs processus et de surveiller les résultats. De plus, les dispositifs de sécurité assurent la protection des utilisateurs et de l'environnement pendant les processus de diffusion et de recuit.
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