Occasion HITACHI / KOKUSAI DD-853V #293637729 à vendre en France
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Vendu
ID: 293637729
Taille de la plaquette: 8
Vertical diffusion furnace, 8"
Flat zone flat zone aligner
M-826 Wafer counter
CT-204S Ionizer
(2) BL-701 Barcode readers
DM-HB1 AGV sensor
CX-3002B Main controller
PCU-3000 / EC-5202 Exhaust controller
OMRON (CX-1314) PLC Unit
CX-1223 Mecha controller
CX-3202 MFC controller
CQ-1600 Temp controller
DN-150A Gate controller
CX-1317 Torch controller
D4EX05486 Heater transformer
(2) Hard Gas Pattern GFC Panels
Lamp torch
UV Sensor torch
SUS-316L Flange
SUS-316L Cooling flange
SUS-316L Seal cap
SUS-304 Cap base
Teflon Teflon cusion
SUS-304 Cool trap
Acrylic trap drain trap
SUS-304 Auto shutter
SUS-304 Scavenger cover
Teflon exhaust line assy exhaust line
SUS-316L EP Reactor gas line set
Mass Flow Controller (MFC)
MFC No / Gas / Full scale / Unit
MFC 1 / N2-1 / 30.000 / SLM
MFC 2 / O2-1 / 20.000 / SLM
MFC 3 / O2-2 / 0.600 / SLM
MFC 4 / H2 / 20.000 / SLM
MFC 5 / HCL / 0.500 / SLM.
HITACHI/KOKUSAI DD-853V est un four de diffusion avancé et des accessoires associés à usage industriel. Il s'agit d'un four compact, disposé verticalement avec une plage de température de 500-1200 ° C, et une température maximale programmable de 1150 ° C Ce four fiable et stable est spécialement conçu pour un haut débit, un faible coût et un traitement thermique précis. HITACHI DD-853V possède une doublure de four en graphite et une zone de réactif isolé en céramique. Il utilise une structure de chauffage vertical avec trois zones de sortie de haute puissance régulièrement espacées. Ceci permet un contrôle de température réparti précis et un traitement thermique uniforme. Sa conception avancée de chambre fournit une répartition fine uniforme du gaz réactif dans la chambre céramique, ce qui donne une efficacité de procédé élevée. Le four dispose également d'un équipement de contrôle tactile facile à utiliser et à haute résolution qui déplace l'état actuel du processus, les paramètres de fonctionnement et le débit de gaz réactif. Il dispose également d'un système de contrôle fiable et à la pointe de la technologie et est livré avec un logiciel de contrôle de la température, du processus et de la réponse. Cette unité de contrôle permet une configuration et un contrôle précis du processus. En outre, KOKUSAI DD-853V comprend des solutions automatisées de transport de bobines et de lignes d'échappement pour faciliter la montée à grande vitesse et la réduction du temps de cycle. La fonction de transport des bobines pré-conditionnée, qui peut être activée à partir de la machine de commande, minimise la consommation excédentaire et assure une répétabilité cohérente du processus. Les solutions de ligne d'échappement réduisent également la pollution atmosphérique et la perte de dopants, tout en économisant de l'énergie et des ressources pendant le fonctionnement. Afin d'assurer un fonctionnement fiable et une sécurité accrue de l'utilisateur, DD-853V est équipé de soupapes de sécurité, d'arrêt d'entrée de gaz, de prévention des dépassements de température et de détente automatique de surpression. Ces garanties garantissent en outre des processus cohérents et reproductibles et la sécurité des utilisateurs. En conclusion, HITACHI/KOKUSAI DD-853V est un four de diffusion de haute qualité et des accessoires connexes conçus pour fournir une répétabilité fiable des processus et des résultats cohérents. Sa conception de chambre avancée, son écran tactile facilement navigable et son outil de contrôle, ses solutions automatisées de transport des bobines et de ligne d'échappement, ainsi que ses fonctions sophistiquées de sécurité et de libération de surpression en font un atout inestimable pour un traitement thermique à haut débit, à faible coût et précis.
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