Occasion HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #293630231 à vendre en France

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF
ID: 293630231
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
LPCVD System, 12" Quixace II 2007 vintage.
Le four de diffusion HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF est un four de diffusion multifonctionnel de pointe conçu pour une grande variété d'industries. Il est conçu pour être utilisé avec une variété d'applications de procédé, y compris les procédés de semi-conducteur, LED, et de dépôt de couches minces. L'équipement dispose d'une grande plage de régulation de température réglable allant jusqu'à 1250 ° C, avec une homogénéité supérieure et est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 4 pouces. Il est manigancé pour être extrêmement l'énergie efficace avec une estimation de pouvoir basse de 20 kW, en garantissant la conservation d'énergie. Le four est équipé de nombreuses caractéristiques uniques qui lui permettent d'atteindre des niveaux de performance plus élevés. Il est capable d'échanger automatiquement les plaquettes et de contrôler les points d'extrémité, ce qui permet un contrôle total sur l'ensemble du processus. Il dispose également d'une chambre de processus froide qui assure l'uniformité de la température et réduit le bilan thermique du processus en contrôlant la température de fonctionnement et en maintenant la cohérence de la température. En outre, il contient un système optique de surveillance des émissions qui mesure les paramètres clés du processus et fournit des informations en retour telles que la composition du gaz et la mesure de la décharge brillante. Le dispositif comprend également une unité intégrée d'injection d'oxygène (OIS) pour améliorer le fonctionnement de la chambre en fournissant une quantité précise d'oxygène à la chambre, permettant à l'utilisateur un meilleur contrôle de l'environnement du procédé. L'OIS aide également à réduire l'oxydation et à garder la chambre propre. En outre, le four comprend un port de vue et un outil de nettoyage pour l'observation pratique des échantillons et l'accès pour l'entretien. Il dispose également d'un contrôle SCADA complet pour assurer un contrôle précis et reproductible des processus et un fonctionnement très fiable. Grâce à la machine d'enregistrement de données intégrée, de précieuses données de processus peuvent être enregistrées et surveillées facilement. Le four de diffusion HITACHI DJ-1206V-DF est une solution de diffusion compacte et fiable, parfaite pour les applications de dépôt à semi-conducteurs, LED et couches minces. Avec sa large gamme de températures, son homogénéité de température précise, sa faible puissance et de nombreuses autres fonctionnalités utiles, il a été conçu pour rendre votre processus d'optimisation facile et rentable.
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