Occasion HITACHI / KOKUSAI DJ-1206V-DF #9251678 à vendre en France
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ID: 9251678
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
LPCVD Systems, 12"
Quixace 2
2007 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206V-DF est un four de diffusion conçu pour le traitement des dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un four à dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) capable de réaliser des processus de réaction à haute température allant jusqu'à 1000 ° C Cette température de traitement thermique élevée fait de HITACHI DJ-1206V-DF un outil polyvalent parfait pour des applications allant du recuit à l'oxydation, la nitridation, et même l'épitaxie du silicium. Le four de diffusion et les accessoires sont monobloc, ce qui permet une plus grande facilité d'installation et de fonctionnement. Il dispose d'une chambre LPCVD avec une vue en quartz de 3 ″ de diamètre pour une vision en ligne propre du procédé et de l'échantillon. L'unité est également livrée avec un contrôleur quad-zone, permettant un contrôle précis de la température dans chaque zone de processus spécifique. Le contrôleur est intégré avec un équipement de sélection de gaz de combustion, un pyromètre ultra-sensible et un tube de prélèvement de quartz pour la rétroaction en temps réel de la température et d'autres mesures liées au processus. Le four de diffusion est conçu avec un système exclusif de contrôle de la dérive, assurant un contrôle précis de la température dans chaque zone. Cela garantit la stabilité et la précision de la température à tous les niveaux et à tous les processus. L'unité offre également une flexibilité de procédé permettant la création de structures de couches complexes. Toutes ces fonctionnalités garantissent un processus reproductible et fiable. Pour plus de sécurité, l'unité dispose d'une unité de protection en neuf points à la pointe de la technologie. Cette machine de sécurité surveille le débit de gaz, la pression, la température et le contenu de la chambre pour protéger l'environnement de fabrication. De plus, un couvercle d'isolation thermique est ajouté pour réduire la consommation d'énergie et minimiser les niveaux de bruit. Pour plus de commodité, le four de diffusion est livré avec une large gamme d'accessoires. Cela comprend un bras de ramassage de matériaux à 360 degrés, permettant un accès complet à l'échantillon dans toutes les zones de processus. Il comprend également une station de purge pour réduire le risque d'oxydation et une station d'étalonnage à zones multiples pour la vérification de la précision de la température. Enfin, l'unité est contrôlée par un logiciel intégré à l'ordinateur, permettant un contrôle et une flexibilité maximum. Le four de diffusion KOKUSAI DJ-1206V-DF est un équipement de pointe conçu pour des performances optimales, un contrôle de précision et une sécurité accrue. Sa large gamme d'accessoires permet de réaliser des processus hautement spécialisés rapidement et facilement. Cette unité de pointe est parfaite pour tous les besoins de traitement des dispositifs semi-conducteurs.
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