Occasion HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-CX5 #9233610 à vendre en France
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ID: 9233610
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
System, 12"
Process: Zro
Front body
Main body
Front upper
Heater
Power box
Blower box
GMP Box
Source box
O3 Generator
Killer box
N2 Purifier
IGS Box
Vacuum line
N2 Purge box
Heater exhaust
Damper frame
Main upper
Heater upper
(5) Boxes
(120) Process wafers
I/O Port / SMIF: FOUP
Load Lock: L/L
(25) Carrier slots
Operation screen: Touch screen
Vacuum pressure control: VAT
Controller transformer: 208V, Single phase
Heater transformer: 440V, 3 Phase
Oxygen analyzer: NGK
Module name:
Process gas 1: N2
Process gas 2: He
Process gas 3: Zr
Process gas 4: O2
Gas distribution system:
Basic style: conventional
Tubing material: SUS-316L
Tubing finish: VCR
MFC: STEC
Ozone system: MKS
Manual & air-operated valve: FUJIKIN
Exhaust distribution system:
Air-operated valve type: VCR Connect
Main valve: VAT
Pump line
Cassette In/Out port
Cassette handling robot
(16) Cassette storages
Wafer transfer type: 1 + 4
Fork material: AL2O3
(5) Forks
Fork variable pitch
Fork wafer presence sensor
Elevator handling:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical parts
Heating chamber:
Heater type: RHC
(5) T/C Types
(5) Spike T/C
Missing parts:
CX5000 System controller
CQ1700 Temperature controller
2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-CX5 est un ensemble de four de diffusion et d'accessoires conçu pour fournir un traitement de diffusion de qualité supérieure. Il dispose d'un équipement d'augmentation/diminution de panneau tactile commandé par ordinateur qui permet des réglages de température précis. Le four a une fréquence allant jusqu'à 400Hz et une température maximale de 1300 ° C Il est également équipé d'un suscepteur en graphite enduit qui minimise la dispersion thermique et permet une surface propre et même chauffante. Le système est livré avec un ensemble de deux bateaux à quartz pour le processus de diffusion, qui sont conçus pour un fonctionnement efficace et cohérent. Les bateaux ont un diamètre intérieur de 17,2 mm, un diamètre extérieur de 19 mm et une capacité maximale de 1 ml. Il est également livré avec une unité de décompression électrostatique, qui minimise les pertes de courant de Foucault et assure une température constante. L'ensemble comprend une unité de contrôle des débris refroidis à l'eau, qui aide à réduire la température de fonctionnement et à minimiser la dérive thermique. Il est également équipé d'une machine de refroidissement efficace, qui utilise des agents de refroidissement à air forcé pour maintenir une température de fonctionnement stable. De plus, le four de diffusion dispose d'un temps de travail actif maximal de cinq heures, ce qui lui permet de terminer le processus de diffusion rapidement et efficacement. Outre le four de diffusion, l'emballage comprend un ensemble d'accessoires comprenant un plateau à quartz, un support d'équilibrage et une cuve de poids, qui sont tous conçus pour aider l'utilisateur dans la mise en place et la mise en oeuvre du processus de diffusion. Un compresseur d'air est également inclus pour fournir un flux d'air régulier au four, améliorant l'efficacité du processus de diffusion. Le paquet HITACHI DJ-1206VN-CX5 est idéal pour tous les besoins de traitement de diffusion. Avec ses contrôles de température précis, son outil de refroidissement à haut rendement, sa température de fonctionnement stable et son temps de travail actif prolongé, il est le choix idéal pour toute application de diffusion.
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