Occasion HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN-DM #9400342 à vendre en France
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ID: 9400342
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Vertical LPCVD furnace, 12"
Process: Nitride
Wafer transfer handling system
(2) FOUPs
507 BW Mat scrubber
EST300WN Pump
2005 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN-DM est un four de diffusion et un accessoire utilisé principalement dans l'industrie des semi-conducteurs. Il combine à la fois un four à vide et un four à vide pour fournir une solution unique aux procédés de fabrication tels que l'oxydation, le dépôt, le nitrurage et le gettering. Contrairement à d'autres fours de diffusion dont la taille peut varier, ce modèle est un four de diffusion de taille moyenne, mesurant environ 600 mm (w) x 600 mm (d) x 600 mm (h). Le four utilise un cristal de quartz pour la surveillance et le contrôle de la température pour des procédés spécifiques. La chambre intérieure du four est en quartz de type Q, offrant une excellente conductivité thermique et une bonne consistance en température pendant le processus. Il est doublé d'un matériau nickel gettering pour une meilleure efficacité et une uniformité de température maximale. L'unité dispose également d'un contrôle de température multi-zones pour des performances supérieures d'oxydation, de dépôt, de nitruration et de gettering. Cela permet de chauffer plusieurs zones de la chambre à des températures différentes, ce qui permet un contrôle uniforme de la température à travers la chambre. HITACHI DJ-1206VN-DM fournit également un équipement de contrôle de l'atmosphère utilisant de l'azote ou des gaz d'argon. Ce système contribue au mélange uniforme des gaz et à la prévention de la contamination potentielle. Le dispositif comprend également un certain nombre de dispositifs de sécurité tels qu'une unité de surveillance de la pression et de la température, des dispositifs de verrouillage d'urgence et des alarmes basse tension. Il comprend également la remise à zéro automatique de la limite de sécurité à haute température, une machine de contrôle de la contre-pression, une vanne sans verrouillage, un outil de ventilation d'urgence et un dispositif de surveillance de l'isolation thermique. Le four de diffusion KOKUSAI DJ-1206VN-DM est conçu pour des performances et une précision supérieures dans les processus de diffusion. C'est une solution fiable et fiable pour l'industrie des semi-conducteurs. Sa construction robuste, alliée à ses caractéristiques de sécurité complètes et à son contrôle de l'atmosphère polyvalent, en font un excellent choix pour toute application basée sur la diffusion.
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