Occasion HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN #9377460 à vendre en France

HITACHI / KOKUSAI DJ-1206VN
ID: 9377460
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
PECVD System, 12" Process: ALD 2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1206VN est un four à diffusion et des accessoires spécialement conçus pour le traitement thermique rapide des plaquettes semi-conductrices. Il s'agit d'un outil idéal pour des procédés tels que l'oxydation thermique, la diffusion, la nitridation et d'autres applications exigeantes nécessitant une précision et une répétabilité submicroniques. Le four dispose d'un fonctionnement entièrement contrôlé par logiciel, permettant un chauffage efficace et conforme des plaquettes. Le four est conçu pour être utilisé dans les lignes de fabrication où une diffusion cohérente et d'autres processus thermiques sont nécessaires. Il a une configuration de profil vertical qui peut accueillir un lot de quatre (200mm/8 ") plaquettes. Le four peut également accueillir trois plaquettes de 75mm (3 po) et des plaquettes simples de 100mm (4 po), ce qui le rend parfait pour le traitement des plaquettes petites et grandes. Le four est équipé d'un ensemble de diffusion unique composé de deux contrôleurs thermoélectriques et d'un équipement programmable de régulation de la température. Cela permet de contrôler étroitement les cycles de chauffage et de refroidissement, fournissant des résultats reproductibles. La plage de température de HITACHI DJ-1206VN est de 300 ° C ~ 1300 ° C KOKUSAI DJ1206VN dispose également d'un système de sécurité avancé, offrant à l'utilisateur la sécurité des opérateurs et la protection de l'environnement contre les conditions dangereuses. Ces protections sont intégrées dans la conception de l'unité et comprennent une machine de verrouillage lorsque les plaquettes restent à des températures supérieures à 900 ° C pendant plus de 5 minutes. Le four offre également 8 types de procédés programmables d'oxydation/nitridation/diffusion/recuit, qui offrent à l'utilisateur la souplesse nécessaire pour réaliser les procédés thermiques les plus difficiles. Il offre également 4 étapes temporelles programmables pour chaque processus. L'outil de commande sophistiqué maintient toujours un contrôle serré de la température du procédé et empêche les fuites thermiques et les surtensions. En outre, DJ-1206VN est livré avec un minuteur et des fonctions de communication de données, ce qui permet à l'utilisateur de surveiller et d'enregistrer la température et l'heure de chaque processus, ce qui facilite l'évaluation des résultats. En résumé, KOKUSAI DJ-1206VN est un four de diffusion et des accessoires, conçus spécifiquement pour le traitement thermique rapide des plaquettes semi-conductrices. Il est idéal pour des procédés tels que l'oxydation thermique, la diffusion, la nitridation, et d'autres applications exigeantes nécessitant une précision et une répétabilité submicroniques. HITACHI DJ1206VN dispose d'une configuration de profil vertical, de deux contrôleurs thermoélectriques, de moyens programmables de régulation de la température, d'un modèle de sécurité avancé, de 8 types de processus programmables, de 4 étapes temporelles programmables, de fonctions de temporisation et de communication de données, permettant aux utilisateurs de traiter efficacement et précisément leurs plaquettes thermiques.
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