Occasion HITACHI / KOKUSAI DJ-1223VN #9377457 à vendre en France
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ID: 9377457
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Diffusion furnace, 12"
Type: SI3N4
2006 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-1223VN est un four à diffusion avancée utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est une combinaison de technologie révolutionnaire de chauffage et de refroidissement, ainsi qu'un contrôle précis des conditions de traitement. Ce four dispose d'un suscepteur à haute émissivité unique, et d'une structure de suscepteur à emboîtement supraconducteur, qui offre une excellente linéarité thermique et électrique et une uniformité à la distribution homogène de la chaleur. Ceci est obtenu par une combinaison suscepteur/réfractaire optimisée qui maximise l'utilisation de l'énergie haute fréquence. Le four dispose d'une excellente flexibilité, avec plusieurs modes de fonctionnement, tels que les modes EFEM et EFEM + LP, pour s'adapter à diverses recettes de processus. Il est équipé d'une vanne de sélection de gaz qui permet un mélange précis et contrôlé de gaz. Il dispose également d'une boucle fermée active pour le contrôle de la température et de la pression du gaz. Les contrôleurs programmables du four disposent d'une large gamme de fonctions de commande telles que l'auto-réglage, l'auto-nettoyage, l'auto-aération, la commande de vide et de pompe, et les fonctions de chronométrage. Le contrôleur supporte également des fonctions de diagnostic intelligentes, qui facilitent le réglage automatique et le dépannage. Cette fonctionnalité est particulièrement utile lorsque le traitement par lots est nécessaire. Le four de diffusion dispose d'un entretien facile, avec un cadre céramique facilement échangeable. Il est également intégré avec un mécanisme d'auto-nettoyage pour un entretien facile. En outre, il dispose d'un système de dissipation de chaleur unique qui minimise l'apparition de points chauds. HITACHI DJ-1223VN est livré avec des capteurs spéciaux et des dispositifs de sécurité, tels qu'un capteur de pression pour détecter les fuites de gaz, des capteurs de température pour surveiller le point de fusion, et un détecteur de fuite de gaz inerte pour assurer l'atmosphère inerte. Il dispose également d'un protecteur d'isolation et d'un arrêt automatique sur la double protection de chasse d'eau pour éviter la survenue de chocs électriques. Le four de diffusion KOKUSAI DJ1223VN offre également une excellente reproduction et fiabilité. Il dispose d'une compensation harmonique avancée pour éviter les nuisances sonores pendant le fonctionnement et utilise des techniques de conditionnement croisé qui assurent l'uniformité des gradients thermiques dans toute la zone d'exploitation. En outre, il dispose d'un système de contrôle de la pression et d'un système d'étanchéité rapide qui permettent au compresseur de rester en fonctionnement jusqu'à la fin du processus. En résumé, DJ1223VN est un four de diffusion extrêmement avancé et fiable qui offre un excellent contrôle thermique, uniformité et fiabilité. Il offre également des caractéristiques de sécurité exceptionnelles ainsi qu'un contrôle précis des conditions de traitement, ce qui en fait un choix idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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