Occasion HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #9226003 à vendre en France
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ID: 9226003
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Vertical LPCVD furnace, 6"
Process: HLD
1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H est un four de diffusion conçu pour fournir des traitements thermiques pour les plaquettes de silicium. C'est l'outil parfait pour la production de revêtement de diffusion de haute pureté. HITACHI DJ-802V-H est équipé d'un suscepteur et d'un ventilateur de refroidissement en graphite chauffé résistivement pour le cyclage rapide à température. Il peut atteindre des températures fixes jusqu'à 1000 ° C et est parfait pour les applications où une haute efficacité thermique et l'uniformité thermique sont requises. KOKUSAI DJ-802V-H est composé d'un creuset spécial en graphite contenant un suscepteur en graphite chauffé résistivement et un ventilateur de refroidissement pour un cycle de température efficace. Le creuset est supporté sur un cadre qui contient des composants électroniques, mécaniques, de refroidissement et de puissance. Il a une porte ouverte verticalement qui donne accès sans restriction à l'intérieur. La température de DJ-802V-H est contrôlée par deux thermocouples indépendants et la régulation PID, qui fournit des capacités de régulation de température précises et répétables. Il dispose également de deux rampes PID pour les profils de température programmés. Il dispose d'une alarme sonore, d'un équipement de circulation d'eau à faible bruit et d'un système de protection contre la température. La conception de HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H est basée sur un creuset en graphite spécial et un encadrement pour une concentration et une homogénéité thermique accrues. HITACHI DJ-802V-H est équipé d'accessoires supplémentaires tels qu'un panier accessoire en acier inoxydable, un tube isolant thyristor en quartz, un porte-échantillon et une unité d'auto-détection RFID. Le porte-autocollant est conçu pour assurer un chauffage uniforme de l'échantillon dans un environnement scellé. La machine d'auto-détection RFID assure le dosage correct des produits chimiques utilisés dans le suscepteur de graphite. En conclusion, KOKUSAI DJ-802V-H est un four de diffusion à la fine pointe de la technologie qui est idéal pour un revêtement de haute pureté sur des plaquettes de silicium. Il est équipé d'une gamme de fonctionnalités avancées et d'accessoires tels que la régulation PID, la circulation d'eau à faible bruit et l'outil d'auto-détection RFID. Il est également livré avec un contrôle de température variable et des niveaux supérieurs d'homogénéité thermique, ce qui en fait la solution parfaite pour une variété d'applications de traitement thermique.
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