Occasion HITACHI / KOKUSAI Vertex DD-823V #9395699 à vendre en France

ID: 9395699
Furnace.
HITACHI/KOKUSAI Vertex DD-823V est un four de diffusion de pointe conçu pour la production à haut volume de semi-conducteurs, offrant un contrôle avancé de la température et une uniformité des procédés. Cet équipement polyvalent est équipé d'une gamme d'accessoires pour optimiser les performances et permettre la personnalisation pour des applications spécifiques. Au cœur de HITACHI Vertex DD-823V se trouve son système de chauffage avancé, qui utilise une combinaison de chauffage radiant, de conduction et de convection pour obtenir une répartition précise et uniforme de la température dans toute la chambre de processus. Ceci assure un traitement thermique cohérent des plaquettes semi-conductrices, conduisant à une fabrication de dispositifs de haute qualité avec une variation minimale des performances électriques. Le four est capable de manipuler une variété de gaz de procédé, permettant un large éventail de procédés de diffusion tels que l'oxydation, le recuit et l'implantation ionique. L'unité de distribution de gaz est conçue pour un contrôle précis des débits et des rapports de mélange, assurant des profils de dopage précis et des couches de diffusion conformes. KOKUSAI Vertex DD-823V dispose d'une configuration de tube en quartz vertical, maximisant le débit des plaquettes et minimisant les exigences d'empreinte. La chambre de processus est conçue pour le chargement et le déchargement faciles des plaquettes, avec une machine de bras robot qui assure une manutention douce pour prévenir la rupture des plaquettes et réduire la contamination des particules. Pour améliorer la surveillance et le contrôle des processus, le four est équipé d'un outil de contrôle de température avancé qui offre une programmation de consigne précise et une rétroaction en temps réel pour l'uniformité de la température. L'actif comprend également des capteurs intégrés pour surveiller les débits de gaz de processus, les niveaux de pression et la température des plaquettes afin d'assurer des conditions de processus cohérentes. Pour améliorer la flexibilité et la personnalisation des processus, Vertex DD-823V peut être équipé d'une gamme d'accessoires, tels que des conduites de gaz supplémentaires, des chambres d'épitaxie en phase vapeur et des modules de recuit thermique rapide. Ces accessoires permettent aux utilisateurs d'adapter le modèle à leurs besoins de processus spécifiques et d'élargir ses capacités pour les futurs noeuds technologiques. En termes de maintenance et de fiabilité, HITACHI/KOKUSAI Vertex DD-823V est conçu pour faciliter l'exploitation et les performances à long terme. L'équipement dispose de routines de nettoyage automatisées, de capacités d'autodiagnostic et d'options de surveillance à distance pour minimiser les temps d'arrêt et optimiser la productivité dans un environnement de production à haut volume. En résumé, le four de diffusion HITACHI Vertex DD-823V est un outil très avancé et polyvalent pour la fabrication de semi-conducteurs, offrant un contrôle de température précis, une distribution uniforme des procédés et des options de personnalisation à travers une gamme d'accessoires. Avec sa conception robuste, ses caractéristiques avancées et sa facilité de fonctionnement, KOKUSAI Vertex DD-823V est une solution fiable pour les applications de fabrication de semi-conducteurs à haut volume.
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