Occasion IPS 300 CA #293614963 à vendre en France
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ID: 293614963
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Diffusion furnace, 12"
2011 vintage.
IPS 300 CA est un four de diffusion et un équipement accessoire de Nederman. Il remplit une variété de fonctions liées aux procédés de recuit et de diffusion utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. 300 CA est un four horizontal à température contrôlée avec une chambre de combustion réduite utilisée pour l'exécution des processus de recuit et de diffusion. L'unité est du type double ceinture offrant une grande flexibilité en termes de taille de plaquettes et de génération de recettes. Il est conçu pour optimiser la vitesse, l'efficacité et la répétabilité. La machine IPS 300 CA dispose de deux zones de chauffage distinctes - une zone de préchauffage ainsi qu'une zone de diffusion - pour assurer des conditions optimales sur l'ensemble du processus. La zone de préchauffage assure que tous les gaz de procédé sont à leur consigne avant d'atteindre la zone de diffusion. Cela contribue non seulement à la diffusion réussie des atomes du substrat, mais aussi au maintien d'une conductivité thermique constante. La zone de préchauffage laisse également suffisamment de temps aux gaz pour réduire les émissions et réduire les possibilités de condensation en chambre. 300 CA dispose également de fonctions supérieures de détection de température et de pression, y compris des systèmes automatisés de contrôle des processus, qui aident à garantir que les conditions optimales du processus sont maintenues tout au long du processus de diffusion. De plus, une source de tube de quartz en quartz monté verticalement, avec un élément chauffant et un bouclier céramique, contribue à assurer un dépôt uniforme sur le substrat de la plaquette. La source de tube en quartz permet également une montée en température rapide et un refroidissement pour le processus. L'outil IPS 300 CA dispose également d'une variété de dispositifs de sécurité pour améliorer la sécurité et prévenir tout type d'erreurs ou d'accidents de l'opérateur. Sa protection à double verrou assure une sécurité maximale lors des processus de diffusion gazeuse lorsque le four est sous pression. En outre, l'actif dispose d'un arrêt automatique de surpression ainsi que de mesures de sécurité intrinsèques qui contribuent à prévenir tout type d'explosions catastrophiques dues à la présence de gaz combustibles. Dans l'ensemble, le modèle 300 CA est un choix idéal pour les processus de développement de dispositifs semi-conducteurs qui nécessitent des processus compliqués de recuit et de diffusion. Avec sa conception robuste et fiable, l'équipement IPS 300 CA fournit une méthode sûre et efficace dans le temps pour la diffusion et le recuit des substrats.
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