Occasion KOKUSAI / BTI Apogee II+ #293651754 à vendre en France
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KOKUSAI/BTI Apogee II + est un four de diffusion et un accessoire de pointe conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il dispose d'un système de contrôle thermique haut de gamme, permettant à l'utilisateur de gérer avec précision la température lors des processus de diffusion. Le régulateur de température avancé permet d'atteindre des températures allant jusqu'à 1350 ° C en quelques minutes. La machine dispose également d'une large gamme dynamique, permettant un chauffage et un refroidissement rapides d'une grande variété de matériaux. L'outil est également équipé d'un atout de livraison de gaz à haut rendement pour les processus de livraison de gaz tels que le retour en arrière et le CVD. Le modèle est livré avec plusieurs outils avancés tels qu'un moniteur de processus de diffusion et un contrôleur Decaperf Plus. Le moniteur de processus de diffusion mesure la température et le débit de gaz du substrat en temps réel, ce qui permet d'optimiser le processus de diffusion en temps réel. Le contrôleur Decaperf Plus est un dispositif automatisé utilisé pour surveiller en permanence le profil de température tout au long du cycle de diffusion. L'équipement comprend également un système de transfert automatique de plaquettes avec un porte-plaquettes intégré et une unité de hucking de plaquettes. La machine est conçue pour traiter une variété de substrats et peut accueillir jusqu'à 8 pouces de plaquettes. Il dispose également d'un outil de chauffage multi-zones avancé, permettant à l'utilisateur de contrôler précisément la température dans différentes zones de la chambre de procédé. L'actif dispose également d'un modèle de vide pour améliorer le contrôle des processus, ainsi que d'un équipement de protection contre le vide pour améliorer la sécurité. Il est également livré avec divers accessoires tels qu'une ligne d'azote, qui permet d'opérer des procédés de gravure à base d'azote. BTI Apogee II + est un système idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et les processus de diffusion avancés. Il offre d'excellentes capacités de régulation de la température et de livraison de gaz, permettant à une variété de processus d'être exécutés d'une manière sûre et efficace. De plus, son outillage avancé et son transfert automatisé de plaquettes, combinés à son unité de chauffage multi-zones et à une protection sous vide avancée, peuvent aider à garantir que tous les processus sont effectués correctement, avec un risque minimal d'endommagement des substrats exposés.
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