Occasion KOKUSAI CX-3000 #293762566 à vendre en France
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ID: 293762566
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Diffusion furnace, 12"
P/N: DJ-1223VN
Process: SI3N4
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2006 vintage.
KOKUSAI CX3000 est un équipement avancé de four à diffusion conçu pour répondre aux exigences exigeantes des fabricants de semi-conducteurs pour la production à haut volume de circuits intégrés avancés. KOKUSAI CX-3000 offre des performances et une fiabilité supérieures, ce qui en fait un choix populaire pour les principales installations de fabrication de semi-conducteurs dans le monde entier. CX3000 dispose d'une conception de four vertical qui permet un traitement efficace des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre. Cette conception offre une excellente uniformité thermique sur la surface de la plaquette, assurant des processus de diffusion cohérents et précis. Le système est équipé de plusieurs zones de chauffage qui peuvent être contrôlées indépendamment, permettant des profils de température précis adaptés aux exigences spécifiques du processus. Une des caractéristiques clés de CX-3000 est son unité avancée de distribution de gaz, qui assure un contrôle précis de l'atmosphère du processus pendant la diffusion. La machine est équipée de régulateurs de débit massique qui régulent le débit de gaz dopants avec une grande précision, permettant un contrôle précis de la concentration de dopant dans la plaquette. Ce niveau de contrôle est essentiel pour obtenir des profils dopants uniformes et des performances électriques cohérentes dans les dispositifs obtenus. KOKUSAI CX3000 dispose également d'un chargeur de wafer de grande capacité qui peut accueillir plusieurs porteurs de wafer simultanément, permettant un chargement et un déchargement efficaces des wafers dans un environnement de production à haut volume. Le chargeur est équipé d'un outil de manipulation robotique sophistiqué qui assure un transfert doux des plaquettes et un positionnement précis dans la chambre de processus. En plus de ses capacités de diffusion avancées, KOKUSAI CX-3000 peut être équipé d'une gamme d'accessoires pour améliorer sa fonctionnalité et sa polyvalence. Ces accessoires comprennent divers systèmes de traitement des gaz de procédé, y compris des armoires à gaz, des purificateurs de gaz et des systèmes de réduction des gaz, afin d'assurer la pureté et la sécurité des gaz de procédé utilisés dans les processus de diffusion. L'atout peut également être intégré à une gamme d'outils de métrologie pour le suivi in situ des paramètres du processus, permettant une rétroaction en temps réel et le contrôle du processus de diffusion. CX3000 est conçu avec un accent sur la fiabilité et la facilité d'entretien, avec une construction robuste et des composants modulaires qui permettent un accès facile et l'entretien. Le modèle est équipé de capacités avancées de diagnostic et de détection d'erreurs, permettant un dépannage rapide et minimisant les temps d'arrêt en cas de dysfonctionnement de l'équipement. Dans l'ensemble, CX-3000 est un système de four de diffusion de pointe qui offre des performances et une fiabilité inégalées pour la production en grand volume de dispositifs semi-conducteurs avancés. Avec ses fonctionnalités avancées, ses capacités de contrôle précises et ses accessoires polyvalents, KOKUSAI CX3000 est un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des rendements élevés et des performances cohérentes dans leurs processus de production.
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