Occasion KOKUSAI CX-3000 #293762870 à vendre en France
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ID: 293762870
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Diffusion furnace, 12"
Part number: DD-1223V
Process: H2 Anneal
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2004 vintage.
KOKUSAI CX3000 est un équipement sophistiqué et très avancé de four de diffusion conçu pour fournir un traitement thermique précis et efficace pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Ce système de pointe intègre une gamme de caractéristiques et de technologies pour garantir des performances fiables et cohérentes dans un environnement de salle blanche. Au cœur de KOKUSAI CX-3000 se trouve une chambre de four de diffusion haute performance capable d'obtenir et de maintenir un contrôle de température extrêmement serré pour le processus de diffusion. L'unité est équipée de plusieurs éléments chauffants répartis dans toute la chambre pour assurer une répartition uniforme de la température et un profilage thermique précis. Ceci permet de contrôler avec précision les gradients de température et les taux de rampe requis pour divers processus de diffusion, tels que la diffusion du phosphore ou du bore. CX3000 dispose d'une machine de distribution de gaz sophistiquée qui permet l'introduction de mélanges précis de gaz dopants nécessaires au processus de diffusion. L'outil est équipé de régulateurs de débit massique de haute précision qui permettent un contrôle précis et répétable des débits de gaz, assurant la concentration correcte des gaz dopants dans la chambre. Ce contrôle précis est essentiel pour atteindre les profils dopants souhaités dans les plaquettes semi-conductrices en cours de traitement. En plus de ses capacités précises de contrôle thermique et de gaz, CX-3000 est équipé de fonctionnalités avancées d'automatisation et de contrôle des processus qui rationalisent le fonctionnement et améliorent la productivité. L'actif est interfacé avec une interface de contrôle conviviale qui permet aux opérateurs de configurer et de surveiller facilement les paramètres de processus, ainsi que de stocker et de rappeler les recettes de processus pour un fonctionnement efficace. Cette automatisation comprend également des fonctions de diagnostic et de journalisation avancées qui permettent de suivre en temps réel les performances des modèles et de faciliter la maintenance proactive. En outre, KOKUSAI CX3000 est conçu en mettant l'accent sur la sécurité et la fiabilité, avec des systèmes robustes de construction et de sécurité en cas de défaillance qui garantissent l'intégrité du processus de diffusion et protègent à la fois les équipements et les opérateurs contre les risques potentiels. Le système est équipé de dispositifs de sécurité complets et d'alarmes qui détectent les conditions anormales, telles que les fuites de gaz ou de températures excessives, et y réagissent, afin de prévenir les accidents et d'assurer l'intégrité de l'environnement de traitement des semi-conducteurs. KOKUSAI CX-3000 est également conçu avec flexibilité et évolutivité, avec des options de personnalisation et d'intégration avec d'autres équipements de fabrication de semi-conducteurs. L'unité peut être configurée avec des accessoires supplémentaires, tels que des chambres de serrure, des systèmes de manutention des plaquettes et des outils de suivi des processus, pour créer une ligne de traitement semi-conducteur entièrement intégrée et adaptée aux besoins spécifiques du client. En conclusion, CX3000 est une machine de pointe de four de diffusion qui combine des technologies de pointe, des capacités de contrôle précises et une conception robuste pour fournir un traitement thermique fiable et efficace pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses caractéristiques de haute performance et sa flexibilité, CX-3000 est une solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité et à haut rendement.
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