Occasion KOKUSAI CX-3000 #293762962 à vendre en France

KOKUSAI CX-3000
ID: 293762962
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
Diffusion furnace, 12" P/N: DJ-1223VN Process: ALD SIN Main controller: CX3010 / CX3010B Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase 2015 vintage.
KOKUSAI CX3000 est un four de diffusion polyvalent et performant conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. C'est un outil crucial dans la réalisation de dispositifs électroniques fiables et de haute qualité, car il facilite la diffusion contrôlée de dopants dans des plaquettes de silicium pour obtenir des propriétés électriques spécifiques nécessaires aux circuits intégrés. Au cœur de KOKUSAI CX-3000 se trouve un équipement de four à tubes horizontaux qui fournit un environnement thermique contrôlé pour le processus de diffusion. Le système se compose de plusieurs zones de chauffage, chacune contrôlée individuellement pour obtenir des profils de température précis sur la surface de la plaquette. Ceci permet une distribution dopante uniforme et des caractéristiques électriques cohérentes dans les dispositifs semi-conducteurs finaux. CX3000 est équipé de systèmes avancés de distribution et de manutention des gaz pour introduire des gaz dopants et d'autres gaz de procédé dans la chambre du four. Des mécanismes précis de contrôle du débit assurent le dépôt précis de dopants sur la surface de la plaquette, tandis que les systèmes de purge des gaz maintiennent un environnement de processus propre et stable exempt de contaminants qui pourraient nuire aux performances des dispositifs. La chambre du four elle-même est constituée de quartz de haute pureté ou d'autres matériaux appropriés pouvant résister aux températures élevées requises pour le processus de diffusion. La chambre est conçue pour accueillir plusieurs plaquettes simultanément, augmentant le débit de processus et l'efficacité. Des précautions particulières sont prises pour réduire au minimum la contamination par les particules et assurer la propreté de l'environnement de traitement, car même des impuretés mineures peuvent nuire au rendement et à la fiabilité du dispositif. La clé de la performance de CX-3000 est son unité de contrôle avancée, qui permet une programmation précise des profils de température, des débits de gaz et d'autres paramètres de processus. Les opérateurs peuvent créer des recettes personnalisées adaptées aux exigences spécifiques de diffusion, optimisant le processus pour différents types de dopants, tailles de plaquettes et structures d'appareils. Les mécanismes de suivi et de rétroaction en temps réel assurent la stabilité et la cohérence des processus, permettant des rendements élevés et la reproductibilité de la production. En plus de l'unité de four principale, KOKUSAI CX3000 peut être équipé d'une gamme d'accessoires et d'options pour améliorer ses capacités et sa polyvalence. Il s'agit notamment de conduites de gaz supplémentaires pour les procédés multigas, de systèmes de manutention des plaquettes pour le chargement et le déchargement automatisés et d'outils de surveillance in situ pour la caractérisation et le contrôle des procédés. Les caractéristiques facultatives telles que les capacités de recuit thermique rapide, le traitement sous vide et les chambres de traitement personnalisées étendent encore la fonctionnalité du four pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs. Dans l'ensemble, KOKUSAI CX-3000 se distingue comme une machine de four de diffusion fiable et haute performance qui répond aux exigences exigeantes de la fabrication moderne de semi-conducteurs. Son contrôle précis, ses caractéristiques avancées et sa conception robuste en font un outil essentiel pour atteindre les semi-conducteurs de haute qualité et performants requis dans les appareils électroniques d'aujourd'hui.
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