Occasion KOKUSAI CX-3000 #293763013 à vendre en France
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ID: 293763013
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN-DM
Process: ALD SIN
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, Single phase / 440 V, 3 Phase
2015 vintage.
KOKUSAI CX-3000 est un four de diffusion de pointe conçu pour le traitement à haute température des matériaux semi-conducteurs dans une atmosphère contrôlée. Cet outil polyvalent offre un contrôle précis de la température, une répartition uniforme du chauffage et une variété d'accessoires pour répondre aux exigences des procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Au cœur de KOKUSAI CX3000 se trouve une chambre de four verticale robuste équipée de plusieurs zones de chauffage et canaux de distribution de gaz. La chambre du four est enfermée dans un environnement contrôlé par la température pour assurer un fonctionnement stable même à des températures extrêmes. Les éléments chauffants sont faits de matériaux de haute qualité qui peuvent résister à une exposition prolongée à des conditions de processus difficiles sans compromettre les performances. CX-3000 est capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1200 ° C, ce qui le rend adapté à un large éventail de processus de diffusion, y compris l'oxydation, le recuit et le dopage. Le système de régulation de température précis permet aux utilisateurs de programmer et de surveiller le profil de température pendant tout le processus, assurant la reproductibilité et la cohérence dans le traitement des plaquettes. Pour améliorer les performances et la flexibilité des CX3000, divers accessoires sont disponibles, y compris des régulateurs de débit de gaz, des pompes à vide et des systèmes de chargement de plaquettes. Les régulateurs de débit de gaz régulent l'écoulement des gaz de procédé dans la chambre, permettant un contrôle précis de l'atmosphère du procédé et de la cinétique de réaction. Les pompes à vide sont utilisées pour créer un environnement à basse pression à l'intérieur de la chambre, essentiel pour certains procédés nécessitant une réduction des niveaux d'oxygène ou une amélioration de la qualité du film. Le système de chargement des plaquettes permet un chargement et un déchargement efficaces des plaquettes dans la chambre du four, minimisant les temps d'arrêt et améliorant la productivité. Le système dispose d'une interface conviviale qui permet aux opérateurs de charger et décharger plusieurs plaquettes en même temps, réduisant le risque de contamination et assurant un traitement uniforme sur toutes les plaquettes. En plus de ses capacités techniques avancées, KOKUSAI CX-3000 est conçu avec la commodité et la sécurité de l'utilisateur à l'esprit. La chambre du four est équipée de multiples dispositifs de sécurité, y compris la protection contre la surchauffe, la détection des fuites de gaz et les boutons d'arrêt d'urgence pour prévenir les accidents et assurer la sécurité des opérateurs pendant le fonctionnement. Dans l'ensemble, le four de diffusion KOKUSAI CX3000 et ses accessoires offrent une solution complète pour les besoins avancés de traitement des semi-conducteurs. Avec ses capacités à haute température, ses systèmes de contrôle précis et ses accessoires polyvalents, CX-3000 est un outil polyvalent pour les laboratoires de recherche et développement, les installations de fabrication de semi-conducteurs et d'autres industries nécessitant des processus de diffusion précis et fiables.
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