Occasion KOKUSAI CX-3000 #293763115 à vendre en France

KOKUSAI CX-3000
ID: 293763115
Taille de la plaquette: 8"
Diffusion furnace, 8" Part number: DJ-835V 8BL Main controller: CX3001 Process: SI3N4 Power supply: 120 V, Single phase / 208 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX-3000 est un four de diffusion de pointe conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement performant intègre des technologies et des caractéristiques de pointe pour assurer un contrôle précis et une uniformité des processus de diffusion, ce qui en fait une solution idéale pour une production de masse dans l'industrie des semi-conducteurs. Le corps principal du four de diffusion KOKUSAI CX3000 est construit à partir de matériaux de haute qualité et conçu avec un accent sur l'efficacité thermique et la stabilité. La chambre du four est constituée d'un tube à quartz de haute pureté pouvant résister à des températures élevées et à des gaz corrosifs, assurant une excellente durabilité et fiabilité sur de longues périodes de fonctionnement. Le tube est chauffé par un ensemble de chauffe-résistances haute puissance qui assurent un chauffage rapide et uniforme dans toute la chambre, atteignant les températures de processus désirées rapidement et efficacement. CX-3000 est équipé d'un système sophistiqué de distribution de gaz qui permet un contrôle précis de l'atmosphère du procédé dans la chambre du four. L'unité dispose de régulateurs de débit massique (MFC) pour un contrôle précis et stable du débit de divers gaz de procédé, tels que les sources dopantes et les gaz porteurs. Cela garantit des résultats de processus cohérents et reproductibles, essentiels pour atteindre les tolérances de processus serrées requises dans la fabrication moderne de semi-conducteurs. Le contrôle de température dans la chaudière de diffusion CX3000 est accompli par une machine de contrôle de température avancée qui utilise des thermocouples de haute précision et des contrôleurs de température. Ces capteurs surveillent en permanence la température à l'intérieur de la chambre du four et ajustent en temps réel les paramètres de chauffage pour maintenir le profil de température souhaité tout au long du processus. L'outil dispose également de capacités d'optimisation de l'uniformité thermique pour s'assurer que la température de la plaquette reste uniforme dans toute la zone du processus, minimisant les variations de concentration de dopants et améliorant la performance globale du processus. Le four de diffusion KOKUSAI CX-3000 est conçu pour accueillir différentes tailles de plaquettes, allant des plaquettes de recherche à petite échelle aux plaquettes de production grand format utilisées dans la fabrication à haut volume. L'actif offre de multiples configurations de bateaux en wafer et des options de chargement pour répondre à différentes exigences de processus et de volumes de production. Le mécanisme de chargement des plaquettes est conçu pour des opérations de chargement et de déchargement des plaquettes lisses et efficaces, minimisant les temps de cycle et améliorant le débit global du processus. Pour compléter le fonctionnement du four de diffusion KOKUSAI CX3000, KOKUSAI propose une gamme d'accessoires et de périphériques conçus pour améliorer les performances et la fonctionnalité des modèles. Ces accessoires comprennent des purificateurs de gaz, des pompes à vide, des systèmes de réduction des gaz d'échappement et des outils de surveillance des processus, qui sont tous intégrés de façon transparente à l'équipement principal du four pour fournir une solution complète et robuste pour le traitement des semi-conducteurs. En conclusion, CX-3000 four de diffusion représente un sommet de l'innovation technologique dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses fonctionnalités avancées, ses capacités de contrôle précises et sa conception robuste, CX3000 est un outil polyvalent et fiable pour répondre aux exigences exigeantes des procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs.
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