Occasion KOKUSAI CX-5000 #293762978 à vendre en France

KOKUSAI CX-5000 est un four de diffusion polyvalent et efficace utilisé pour un large éventail d'applications liées à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, y compris les procédés d'oxydation thermique, de recuit et de diffusion. Il peut supporter jusqu'à des substrats tridimensionnels incluant diverses plaquettes, SOI et des substrats en verre. Le four est construit pour la flexibilité et des performances de processus supérieures. Il est équipé à la fois d'une oxydation thermique rapide (RTO) et d'un recuit thermique rapide (RTA). Le RTO permet l'oxydation des couches superficielles de plaquettes tandis que le RTA est capable de recuit des substrats thermiquement fragiles. Les deux procédés offrent une excellente uniformité de la température du substrat et de la pièce. CX-5000 utilise une conception triple chambre/double zone. Ceci fournit des zones de température séparées pour les composants individuels ainsi qu'un contrôle optimal. Des modèles avancés de débit de gaz sont utilisés pour assurer l'uniformité et l'uniformité du gaz entrant dans la chambre de réaction. Les trois chambres sont logées dans une enceinte étanche qui est capable de maintenir une pression positive et assure des gaz de processus de haute pureté. L'équipement de régulation de la température consiste en un mécanisme asservi qui comporte un ensemble de capteurs qui mesurent et contrôlent les paramètres tels que la température, la pression et la concentration d'oxygène. Une large gamme d'accessoires sont disponibles pour KOKUSAI CX-5000, y compris les modules de pré-zone de chaleur (PHZ), les modules de moniteur de profil, les modules multi-spin et les systèmes d'échappement avancés. Des zones de préchauffage sont nécessaires pour assurer une répartition uniforme de la température dans la chambre de traitement. Des moniteurs de profil sont utilisés pour mesurer le profil de température pendant l'oxydation et la diffusion. Les modules multi-spin permettent un chargement plus élevé de la chambre avec plusieurs plaquettes. Les systèmes d'échappement avancés sont conçus pour maintenir un degré élevé de pureté dans l'atmosphère de la chambre et le flux d'échappement. Le système de contrôle avancé de CX-5000 fournit un contrôle précis et fiable des paramètres clés tels que la température, la pression et la concentration d'oxygène, assurant des résultats de processus supérieurs et reproductibles. Il peut être interfacé avec des ordinateurs pour permettre de contrôler le processus à distance et pour la collecte de données à distance. L'unité comprend également des dispositifs de sécurité tels que la détection de dépassement de température et le contrôle de pression. Dans l'ensemble, KOKUSAI CX-5000 est un four de diffusion avancé et efficace avec une excellente uniformité et fiabilité des processus. Il est construit avec une large gamme d'accessoires pour fournir une machine vraiment polyvalente et supérieure pour une variété de processus de diffusion. En outre, CX-5000 four de diffusion est conçu pour un fonctionnement et un entretien faciles. Il est simple à calibrer et à commander, et sa conception modulaire garantit une maintenance simple. La conception facilite également la mise à niveau des composants matériels ou l'ajout de fonctionnalités supplémentaires au besoin.