Occasion KOKUSAI CX-5000 #293763006 à vendre en France
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ID: 293763006
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN -DF
Process: TiN
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2010 vintage.
KOKUSAI CX-5000 est un four de diffusion ultramoderne et ses accessoires associés développé par KOKUSAI Semiconductor Equipment Corporation. Cette plate-forme innovante offre des capacités avancées pour les processus de diffusion précis et efficaces requis dans la fabrication de semi-conducteurs. CX-5000 est conçu pour répondre aux besoins exigeants de l'industrie des semi-conducteurs en offrant un haut niveau de performance, de fiabilité et de flexibilité. Au cœur de l'équipement KOKUSAI CX-5000 se trouve le four de diffusion lui-même, qui est un composant clé pour le traitement thermique des plaquettes de silicium. Ce four est conçu pour assurer un contrôle précis de la température, une répartition uniforme de la chaleur et un débit de gaz contrôlé afin d'obtenir des résultats de diffusion optimaux. La chambre du four est faite de matériaux de haute qualité qui peuvent résister à des températures élevées et des gaz corrosifs, assurant la durabilité et la fiabilité à long terme. CX-5000 four dispose d'éléments chauffants avancés qui permettent des cycles de chauffage et de refroidissement rapides, permettant un traitement efficace des plaquettes. Le système est équipé de plusieurs zones de chauffage qui peuvent être contrôlées indépendamment pour créer des profils thermiques personnalisés pour différentes exigences de processus. Ce niveau de contrôle permet un réglage précis des paramètres du processus de diffusion pour atteindre le profil dopant et la profondeur de jonction souhaités dans le dispositif semi-conducteur. La chambre du four est conçue pour accueillir différentes tailles de plaquettes, allant des plaquettes de petit diamètre utilisées en recherche et développement aux plaquettes de plus grande taille couramment utilisées dans les environnements de production. Cette flexibilité permet aux fabricants de semi-conducteurs de traiter différents types de plaquettes sur la même plate-forme, réduisant le besoin de multiples outils de traitement et rationalisant les processus de production. En plus de la chambre de four, l'unité KOKUSAI CX-5000 comprend une gamme d'accessoires et de périphériques qui améliorent ses capacités et sa fonctionnalité. Ces accessoires peuvent comprendre des systèmes de distribution de gaz, des pompes à vide, des robots de manutention de plaquettes et des outils de surveillance des processus. La machine de distribution de gaz assure l'arrivée précise et contrôlée de gaz dopants dans la chambre du four, tandis que la pompe à vide maintient le niveau de vide requis pour le processus de diffusion. Le robot de manutention des plaquettes automatise le chargement et le déchargement des plaquettes dans la chambre du four, réduisant le risque de contamination et améliorant l'efficacité globale du procédé. Le robot est équipé de capteurs avancés et de systèmes de contrôle pour assurer un positionnement et un alignement précis des plaquettes pendant le traitement. Les outils de surveillance du processus, tels que les capteurs de température, les débitmètres de gaz et les manomètres, fournissent des données en temps réel sur les paramètres du processus pour permettre une surveillance et un ajustement continus du processus de diffusion. Cette approche fondée sur les données garantit des résultats cohérents et reproductibles, conduisant à des rendements de produits plus élevés et à un meilleur contrôle de la qualité. Globalement, CX-5000 four de diffusion et ses accessoires associés offrent aux fabricants de semi-conducteurs une solution fiable et performante pour leurs besoins de traitement thermique. Les fonctionnalités avancées, les capacités de contrôle précises et la flexibilité de l'outil en font un outil précieux pour obtenir des résultats de diffusion optimaux dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Avec KOKUSAI CX-5000, les fabricants de semi-conducteurs peuvent s'attendre à une amélioration de l'efficacité des procédés, à une réduction des coûts d'exploitation et à une amélioration de la qualité des produits.
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