Occasion KOKUSAI CX-5000 #293763029 à vendre en France
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ID: 293763029
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1226V -DF
Process: D-POLY
Power supply: 120 V, Single phase / 480 V, 3 Phase
2006 vintage.
KOKUSAI CX-5000 est un équipement ultramoderne de fours à diffusion conçu pour des procédés de fabrication de semi-conducteurs de haute performance. Cet outil avancé offre un contrôle précis de la température, de l'atmosphère et des vitesses de rampe, ce qui le rend idéal pour un large éventail de processus de diffusion tels que l'oxydation, le recuit et le dopage. CX-5000 est une plate-forme polyvalente qui peut accueillir différentes tailles de substrats et est équipée de fonctionnalités avancées pour assurer des résultats cohérents et fiables. Une des caractéristiques clés de KOKUSAI CX-5000 est son système de chauffage multi-zones, qui permet une répartition uniforme de la température sur la surface de la plaquette. Cela est essentiel pour obtenir des résultats de diffusion reproductibles et de haute qualité. L'unité est équipée d'éléments de chauffage haute performance et d'une machine sophistiquée de contrôle de la température qui peut maintenir avec précision la température de processus souhaitée dans une plage de tolérance étroite. En plus du contrôle de la température, CX-5000 offre un contrôle précis de l'atmosphère du procédé. L'outil est capable de créer un large éventail de mélanges de gaz, y compris l'oxygène, l'azote, l'argon et l'hydrogène, pour répondre à différentes exigences de processus. Les débits et la composition des gaz peuvent être facilement ajustés grâce à l'interface intuitive de contrôle, ce qui permet une flexibilité dans le développement et l'optimisation des processus. KOKUSAI CX-5000 dispose également d'une capacité de vitesse de rampe rapide, permettant des transitions rapides de température pendant le processus de diffusion. Ceci est essentiel pour réduire les temps de cycle de processus et augmenter le débit dans les installations de fabrication de semi-conducteurs. L'actif peut atteindre des taux de rampe allant jusqu'à X degrés Celsius par seconde, assurant une exécution efficace du processus sans compromettre la qualité. En termes de manutention des plaquettes, CX-5000 est conçu pour une flexibilité maximale et une facilité d'utilisation. Le modèle peut accueillir différentes tailles de substrats, des petites plaquettes aux grands panneaux, et offre des configurations de chargement personnalisables pour répondre aux exigences spécifiques des applications. Le processus de chargement et de déchargement des plaquettes est automatisé pour minimiser l'intervention de l'opérateur et réduire le risque de contamination. Pour garantir la répétabilité et la fiabilité des processus, KOKUSAI CX-5000 est équipé de fonctions avancées de surveillance et de contrôle des processus. L'équipement peut recueillir des données en temps réel sur la température, le débit de gaz et d'autres paramètres du processus, ce qui permet une optimisation précise du processus et le dépannage. Le logiciel intégré de contrôle des processus permet aux utilisateurs de créer et de sauvegarder des recettes de processus, assurant la cohérence sur plusieurs séries. La maintenance de CX-5000 est simple et économique, grâce à sa conception modulaire et à son accès facile aux composants critiques. Le système est construit avec des matériaux et des composants de haute qualité pour assurer la fiabilité et la performance à long terme. En cas de dysfonctionnement, l'interface conviviale fournit des diagnostics détaillés et des informations de dépannage pour identifier rapidement les problèmes et y remédier. Dans l'ensemble, KOKUSAI CX-5000 est un four de diffusion de pointe qui offre des performances, une polyvalence et une fiabilité inégalées pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec ses fonctionnalités avancées et sa conception conviviale, CX-5000 est un outil essentiel pour la production de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité avec des exigences strictes de contrôle des processus.
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