Occasion KOKUSAI CX-5000 #293763030 à vendre en France
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ID: 293763030
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1236VN -DF
Process: ALD
Power supply: 120 V, Single phase / 480 V, 3 Phase
2015 vintage.
KOKUSAI CX-5000 est un équipement ultramoderne de fours à diffusion conçu pour le traitement à très haute température dans les applications de fabrication de semi-conducteurs. Ce four avancé offre un contrôle précis de la température et de l'atmosphère pour assurer une diffusion optimale des dopants dans le substrat de la plaquette de silicium. En plus du four de diffusion principal, CX-5000 est complété par une gamme d'accessoires et de périphériques qui améliorent sa fonctionnalité et ses performances. La chambre de four principale de KOKUSAI CX-5000 est construite en tube de quartz de haute pureté avec un système robuste d'éléments de chauffage qui assure un contrôle de température uniforme et stable. L'unité est équipée de systèmes avancés de distribution de gaz et de mélange pour créer des atmosphères de processus précises nécessaires au processus de diffusion. Le four de diffusion peut atteindre des températures allant jusqu'à 1200 degrés Celsius, ce qui le rend adapté à un large éventail de processus de diffusion, y compris l'arsenic, le phosphore et le dopage au bore. Une des caractéristiques clés de CX-5000 est sa machine de contrôle de température avancée, qui utilise plusieurs thermocouples et un algorithme de contrôle PID sophistiqué pour maintenir des profils de température très précis sur la surface de la plaquette. Cette uniformité de température assure des résultats de diffusion cohérents et fiables, essentiels pour un contrôle serré des procédés dans la fabrication des semi-conducteurs. Pour améliorer la fonctionnalité de KOKUSAI CX-5000, une gamme d'accessoires et de périphériques sont disponibles, dont un module de recuit thermique rapide (RTA), une chambre de transfert sous vide et un outil de manutention des plaquettes. Le module RTA permet un chauffage et un refroidissement rapides des plaquettes pour les procédés de recuit, tandis que la chambre de transfert sous vide permet un transfert sans soudure des plaquettes entre les modules de procédé pour minimiser la contamination et réduire les temps d'arrêt. L'actif de manutention des plaquettes de CX-5000 est conçu pour la fabrication à haut débit, avec des options de traitement des plaquettes simples ou multiples pour répondre aux exigences des installations de production de semi-conducteurs. Le modèle intègre des capacités intelligentes de cartographie et de suivi des plaquettes pour assurer un positionnement et un alignement précis pendant le traitement, améliorant ainsi la répétabilité et le rendement des processus. En plus des composants matériels, KOKUSAI CX-5000 est supporté par un logiciel complet qui fournit des interfaces intuitives de programmation et de contrôle des processus. Le logiciel permet aux utilisateurs de créer et de modifier des recettes de processus, de surveiller les paramètres de processus en temps réel et de générer des rapports détaillés pour l'analyse et l'optimisation des processus. Dans l'ensemble, CX-5000 équipements de four de diffusion offre une combinaison de technologie avancée, de contrôle de précision, et d'accessoires polyvalents qui en font une solution fiable et efficace pour les processus de diffusion des semi-conducteurs. Avec ses capacités de haute température, son homogénéité de température et ses fonctions d'automatisation complètes, KOKUSAI CX-5000 est idéal pour les environnements de fabrication de semi-conducteurs à haut volume nécessitant des performances et un rendement supérieurs.
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