Occasion KOKUSAI CX3000 #9291199 à vendre en France
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ID: 9291199
Taille de la plaquette: 12"
Furnaces, 12"
P/N:DJ-1223VN
Process: SI3N4.
KOKUSAI CX3000 est un four de diffusion conçu pour optimiser le dopage ou le collage des substrats dans une gamme de procédés semi-conducteurs. En tant que four de diffusion thermique, KOKUSAI CX-3000 dispose d'une chambre de chauffage à une seule zone et d'une zone chaude pouvant être utilisée pour des dispositifs à semi-conducteurs en silicium ou composés. Ces deux zones permettent un contrôle précis et fiable de la température et de l'atmosphère pour accueillir différents matériaux pour le dépôt de films, l'amincissement ou le collage de plaquettes et d'autres procédés importants. Le four a une dimension extérieure de L1400xW700xH1715mm, tandis que les dimensions intérieures mesurent L1,100mm x W600mm x H1430mm. Il est réalisé en quartz ou autre matériau et a une plage de température de 200-1020 ° C avec une résolution de ± 2 ° C CX3000 four peut également atteindre une température maximale de 1160 ° C pour des processus de recuit rapide. La température peut également être programmée pour accepter une variété de bandes thermiques. CX-3000 les fours ont une base réglable ainsi qu'une plaque de couverture supérieure remplaçable, qui peuvent tous deux être configurés pour s'adapter à la plupart des opérations. En outre, il dispose d'une variété d'accessoires en option comme une glissière à air, des portes motorisées, des appareils de chauffage et des ventilateurs différents. Il dispose également d'une puissante soufflante motorisée qui aide à un chauffage et un refroidissement plus rapides de la chambre intérieure. Le four KOKUSAI CX3000 est équipé de systèmes de contrôle insensés tels que les systèmes d'auto-réglage PID qui aident à maintenir la température constante tout au long du processus de diffusion. Cela évite les pertes de temps et de matériaux dues à des changements de température soudains. L'unité de gaz du four et l'électrovanne refroidie à l'eau contrôlent l'écoulement du gaz à l'intérieur et à l'extérieur de la chambre. Le système dispose également de logiciels et de matériel embarqués qui assurent des perturbations minimales pendant le fonctionnement. Les fours de diffusion KOKUSAI CX-3000 sont dotés de la technologie de cristaux de quartz de nouvelle génération et peuvent être utilisés pour divers procédés, y compris l'implantation ionique, l'oxydation, le recuit et le dopage régénératif. Le four est adapté à une production à plus petite échelle ainsi qu'à une production photovoltaïque et microélectronique plus avancée et complexe. Il convient à une variété de matériaux différents comme le silicium, l'arséniure de gallium, le phosphure d'indium et les semi-conducteurs nitrures.
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